Occasion ASML PAS 5500 / 400B #293817860 à vendre en France
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ID: 293817860
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.65
Resolution: 280 nm
DCO: 45
Throughput (WPH): 104.
ASML PAS 5500/ 400B est un pas d'immersion conçu pour la photolithographie à semi-conducteur. C'est le choix idéal pour produire de manière fiable des motifs très précis sur les puces de circuit intégré. La technologie optique et mécanique de pointe de cette machine à la pointe de la technologie la rend idéale pour les sous-microns et les nanomètres. PAS 5500/ 400B offre un pas de balayage de haute performance avec un palier à air. Le scanner dispose d'une boucle d'asservissement de haute précision et d'un interféromètre laser HeNe amélioré. La machine offre également des programmes avancés d'évaluation d'image, une grande précision et un alignement supérieur. Il est capable de générer un haut débit, une largeur d'espace rapide (angle de flanc), et offre un bon contraste dans les applications de fixation lamellaire. ASML PAS 5500/ 400B est capable de programmes d'exposition allant de ceux requis pour les longs parcours d'exposition pour le prototypage à ceux qui nécessitent des temps d'exposition courts pour une production à haut rendement et un débit maximal. Il est également capable de manipuler des tailles de plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre, et peut traiter des tailles de matrices aussi petites que 5 microns. La machine offre des performances d'exposition uniformes et précises sur toutes les tailles de terrain. Cette optique cristalline assure une profondeur de focalisation supérieure sur toutes les tailles de champ tandis qu'un système autofocus optimise les conditions de focalisation pendant l'exposition. PAS 5500/ 400B est spécialement conçu pour une haute précision et une focalisation profonde pour des motifs de circuits intégrés très complexes. C'est le choix idéal pour la production de VLSI et de puces mémoire, ainsi que de substrats biomédicaux. En outre, il est idéal pour les applications de flip chip et est également adapté pour la conception de lignes fines sans masque. La machine offre un maximum de précision et de répétabilité, assurant un marquage précis sur plusieurs roulements de plaquettes. Sa conception compacte minimise également les vibrations tout en permettant des débits élevés. Les contrôleurs périphériques pour l'entrée de données vectorielles et l'étalonnage de recouvrement assurent un fonctionnement flexible pendant le traitement. En conclusion, l'ASML PAS 5500/ 400B est un pas de plaquette robuste et fiable qui offre d'excellentes performances pour un tissage très précis des circuits intégrés. Son balayage de haute précision, son uniformité de motif supérieure et son fonctionnement flexible en font le choix idéal pour des procédés de production lithographique de haute précision.
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