Occasion ASML PAS 5500 / 400C #293655011 à vendre en France

ASML PAS 5500/ 400C est un pas de plaquette développé par ASML (Applied Scanning Technologies) pour l'industrie des semi-conducteurs. ASML PAS 5500/400 C est un outil de lithographie étape et répétition conçu pour la réalisation de circuits intégrés multicouches utilisant un illuminateur ultraviolet profond. Sa technologie de réseau plan focal (FPA) offre une qualité d'image élevée et un débit élevé. La machine est capable de scanner jusqu'à 1.2M verres/min à une taille de domaine de 65nm x 65nm tout en conservant une haute résolution. L'équipement PAS 5500/ 400C est livré avec une tête de balayage intégrée et un illuminateur, ainsi qu'un système de correction de proximité (PCS) qui fournit un alignement de plaquettes de haute précision et un contrôle traçable. L'illuminateur intégré utilise la technologie laser Argon Fluoride (ArF) à diode laser pour l'exposition à la longueur d'onde de 13,4nm. Il dispose d'une source multi-blanchissement efficace pour des capacités d'uniformité et de luminosité de pointe élevées. PAS 5500/400 C utilise une sous-unité d'astigmatisme hybride unique pour réduire la distorsion et rendre possible un « calibrage de précision de crête ». Cela réduit le temps de traitement et améliore la fidélité des images scannées. L'ASML PAS 5500/ 400C offre également un temps d'exposition compétitif et une haute résolution grâce à l'utilisation simultanée de plusieurs composants, tels que les technologies d'exposition « Dual-Pass » et « Double-ArF ». La machine ASML PAS 5500/400 C dispose également d'une capacité de métrologie avancée avec une option de cartographie 3D haute résolution. Il a la capacité de mesurer des caractéristiques telles que la précision de placement des motifs, la précision de recouvrement et l'enregistrement de recouvrement des plaquettes sur toute sa gamme de tailles de plaquettes. L'outil est livré avec une bibliothèque standard de recettes de processus. PAS 5500/ 400C est un pas de plaquette polyvalent et efficace adapté aux exigences exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une haute qualité d'image, la productivité et la résolution, ainsi que la capacité de métrologie, ce qui le rend idéal pour l'intégration dans la production par lots 24/7. Il a un excellent rapport coût-performance et une fiabilité éprouvée et une longue durée de vie. PAS 5500/400 C wafer stepper est la solution de fabrication parfaite pour une large gamme de produits.