Occasion ASML PAS 5500 / 400D #293817859 à vendre en France

ASML PAS 5500/ 400D est un pas de plaquette haute performance qui fournit des capacités de lithographie et d'imagerie de précision à l'industrie des semi-conducteurs. Il a une résolution de 0,25 microns et peut traiter jusqu'à 400 mm de plaquettes dans des étapes distinctes. ASML PAS 5500/400D offre une imagerie à haute vitesse pilotée par ordinateur tout au long du processus et un débit supérieur qui garantit que les processus de production sont terminés le plus rapidement possible. Le PAS 5500/400 D est équipé d'un équipement d'imagerie intégré qui comprend plusieurs caractéristiques, dont un système d'alignement des plaquettes, un interféromètre laser et une machine robotique avancée. L'outil d'imagerie intégré ajuste automatiquement les paramètres de mouvement de la plaquette de la machine pour permettre des résultats d'imagerie de lithographie optimaux sans aucune intervention de l'opérateur. De plus, l'outil d'imagerie peut détecter toutes les erreurs d'alignement et de positionnement, et peut rapidement s'ajuster à tout écart. La machine comprend également une large gamme de caractéristiques personnalisables telles que des éléments chauffants, des catalyseurs déflecteurs, des assemblages de filtres, des assemblages d'obturateurs, des assemblages de lampes à fente et des ensembles de têtes d'exposition. L'ensemble de la tête d'exposition permet à la machine d'effectuer diverses opérations de lithographie avancées, telles que la projection de contour (CP), le rafraîchissement à fort contraste (HCR) et la profondeur de focalisation (DOF). L'optique interne de la machine, comme l'interféromètre laser et l'optique de projection, est également conçue pour offrir des fonctionnalités d'imagerie améliorées. L'interféromètre laser corrige les erreurs d'inclinaison ou de focalisation et assure un balayage précis de la surface de la plaquette. En outre, l'optique de projection est conçue pour traiter un large éventail de substrats et de matériaux, et peut fonctionner avec différentes sources lumineuses et techniques de traitement. La machine comprend également une variété de logiciels informatiques conçus pour améliorer sa fonctionnalité, y compris des outils souples et précis d'alignement des masques, une analyse précise des patchs, une correction rapide des régions mal définies sur les substrats et des procédures avancées de mise au point, d'exposition et d'arrêt. Le logiciel de soutien permet également à l'opérateur de stocker et d'accéder facilement à tous les paramètres d'imagerie qui ont été utilisés lors de chaque exécution de wafer afin d'assurer un fonctionnement cohérent et efficace. Dans l'ensemble, ASML PAS 5400/400D est un puissant pas de plaquette qui offre des capacités d'imagerie supérieures et un large éventail de fonctionnalités conçues pour améliorer l'efficacité, la précision et le débit du processus de production. C'est un choix idéal pour l'industrie des semi-conducteurs et d'autres industries qui nécessitent des opérations de lithographie précises.