Occasion ASML PAS 5500 / 400D #9296950 à vendre en France

ASML PAS 5500/ 400D est un pas de plaquette hautement technologique, conçu pour fonctionner dans un volume extrêmement élevé et à haut débit de production de puces semi-conductrices. Ce stepper, la partie de la famille de produit PAS, est un état de l'équipement de lithographie d'art, en présentant des technologies avancées telles que les derniers scanners PAS5m ASML-conçus, un 180nm la résolution et un grand 7nm la profondeur de foyer. Le système est conçu pour assurer des performances supérieures à la vitesse maximale de balayage de 15 000 wafers par heure, avec un taux de scan de 70nm par seconde. Ceci maximise le débit et peut réduire le coût par filière. Avec ses capacités minimales de dégazage, il fournit un processus propre et précis avec une génération de défaut minimale. Il est idéal pour la production de grandes puces logiques, de circuits embarqués et de machines-sur-puces. La capacité en ligne est exceptionnelle, avec une excellente uniformité et répétabilité. Il a également intégré la métrologie de surface avancée et des caractéristiques de mesure sophistiquées permettant un enregistrement précis des motifs et des résultats de recouvrement supérieurs. Le modèle comporte deux étages de balayage optique chacun entraíné par une paire de moteurs linéaires, qui sont conçus et actionnés pour fabriquer des structures critiques avec une précision répétable. Plusieurs paquets d'alignement et de contrôle de processus avancés sont également inclus dans l'outil. Cela permet un temps de cycle court et une précision maximale. ASML PAS 5500/400D peut être adapté à de nombreux besoins des clients grâce à une grande variété d'options pour la personnalisation des modèles. Cela inclut divers choix pour les lentilles objectives, les opérations de nettoyage sec/humide et la précision de l'étage. Pour compléter la gamme, le modèle est optimisé pour les sources lumineuses EUV et ArF traditionnelles. PAS 5500/400 D est un pas impressionnant de pointe conçu pour la production de puces à haut volume et avec précision. Il répond ou dépasse les attentes des fabricants de semi-conducteurs qui exigent des performances supérieures et une répétabilité exceptionnelle dans un mode de production microélectronique fiable.