Occasion ASML PAS 5500 / 500 #293814112 à vendre en France

ASML PAS 5500/500 est un outil avancé d'étape de plaquettes utilisé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est capable de réaliser des microstructures très précises pour divers composants semi-conducteurs. Cette machine utilise un équipement d'alignement et d'imagerie pour exposer un motif de lumière ultraviolette sur une plaquette semi-conductrice. Il dispose d'un système de symétrie variable (VSS), une puissante unité d'éclairage qui offre la flexibilité pour ajuster des facteurs tels que la forme de l'image projetée, la taille du champ de vision et le type de photomasque. L'outil dispose de quatre systèmes optiques, chacun contenant plusieurs lentilles et une machine d'alignement séparée. Chaque outil peut être ajusté de manière indépendante pour assurer une précision d'alignement stable et répétable dans différentes conditions. L'actif dispose également de lentilles de projection à faible distorsion pour assurer un processus lithographique précis et cohérent. Le PAS 5500/500 comprend également un modèle de balayage avancé, qui assure une imagerie haute résolution pour diverses formes de mise en page, y compris des champs surdimensionnés, des sous-champs et de petites géométries. Il utilise également le mouvement répétable du stepper pour suivre avec précision plusieurs champs de vue. De plus, l'ASML PAS 5500/500 est équipé d'une technologie fiable de serrage sous vide, qui évite la distorsion des plaquettes lors du processus d'exposition. L'outil comprend également un équipement de lecture OCR intégré, permettant une lecture facile de plusieurs codes à barres de chaque plaquette pour assurer un traitement rapide et automatisé. En conclusion, PAS 5500/500 est un outil puissant et très précis conçu pour répondre aux exigences de la fabrication moderne de semi-conducteurs. Ses systèmes avancés d'optique et de balayage haute résolution permettent une production lithographique précise et répétable de caractéristiques fines et un serrage précis et fiable des plaquettes tout au long du processus.