Occasion ASML PAS 5500 / 60B #293817855 à vendre en France
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ID: 293817855
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.54
Resolution: 450 nm
DCO: 70
Throughput (WPH): 48.
ASML PAS 5500/ 60B est un équipement de lithographie d'imagerie optique utilisé dans la production de puces à semi-conducteurs. Cette machine est un pas de plaquette, qui est un type de dispositif d'imagerie optique utilisé dans la fabrication de dispositifs microélectroniques. PAS 5500/ 60B est un outil de pointe capable de prélever des masques électro-optiques et de les transférer sur des plaquettes de silicium en mouvement. L'ASML PAS 5500/ 60B dispose d'une lithographie avancée, d'un alignement de haute précision et de capacités de balayage extrêmement rapides pour la production de modèles de puces à haut rendement. Le gradin de la plaquette dispose d'un étage réticulé haute performance, prêt à scanner avec auto-reconnaissance et présentation bidimensionnelle du réticule. Il dispose également d'un système d'alignement de haute précision, qui permet l'enregistrement d'images de haute précision, et d'une unité de focalisation automatique, qui garantit que l'optique reste correctement focalisée pendant le processus d'imagerie. PAS 5500/ 60B est capable de produire des dessins de puces avec une taille de caractéristique inférieure à 0,2 micromètre. Il présente également un haut degré de répétabilité des procédés, ce qui permet la production de puces aux caractéristiques quasiment identiques. La machine dispose également d'une machine à balayage rapide en mode rafale, qui garantit que les images des puces peuvent être créées rapidement et avec précision. L'ASML PAS 5500/ 60B a une large gamme de paramètres d'entrée et de sortie, et peut être connecté à divers équipements pour se connecter à d'autres systèmes d'imagerie, par exemple un instrument de mesure de dimension critique (CD) de Wafer. L'outil a également une fonction de recouvrement à deux couches, ce qui permet de réaliser des circuits double face sans avoir à utiliser de masquage double face. Bien qu'étant une machine relativement petite, PAS 5500/ 60B dispose toujours de toutes les fonctionnalités avancées qui sont nécessaires pour la production de conception de puces de haute qualité. C'est un outil fiable et rentable pour la production de circuits intégrés complexes, ce qui en fait un choix attrayant pour la fabrication de puces semi-conductrices.
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