Occasion ASML PAS 5500 / 700 #293816709 à vendre en France

ASML PAS 5500/700 série wafer stepper est une machine automatisée utilisée pour l'imagerie lithographique précise sur des plaquettes de silicium dans l'industrie des semi-conducteurs d'aujourd'hui. Elle utilise des procédés de lithographie optique pour exposer des motifs sur les plaquettes afin de créer des micro-circuits nécessaires à la fabrication de circuits intégrés, de puces de silicium et d'autres semi-conducteurs. L'une des principales caractéristiques de cet étage est son ouverture numérique élevée et sa flexibilité d'exposition. Son NA ou ouverture numérique de 0,7 permet une imagerie haute résolution et une modélisation plus fine. Pour ce faire, on utilise un équipement combiné d'éclairage et de miroir, une combinaison qui permet l'utilisation de diverses lentilles optiques pour focaliser et amplifier les motifs d'exposition. Il dispose également d'un champ d'exposition qui peut être personnalisé à des tailles de 4, 5, 6 et 8 pouces. Ce pas de plaquette est équipé de deux objectifs : un masque de déphasage atténué et un objectif composite avec un système d'éclairage à double zone. La lentille à masque déphaseur atténué utilise la lumière ultraviolette pour réaliser des motifs sur des surfaces de plaquettes, tandis que la lentille à objectif composite avec unité d'éclairage à double zone amplifie ces motifs tout en contrôlant l'aberration. Cette disposition permet au pas de fournir des performances améliorées en termes de fidélité des motifs et de profondeur d'imagerie. Outre ses performances d'imagerie, PAS 5500/700 de la série wafer stepper dispose également d'une machine avancée de commande de mouvement et d'accord multi-axes. Cet outil se compose d'un contrôleur, d'encodeurs et de motorisations qui permettent à l'étape de délivrer des mouvements et des positionnements de piste précis. Le stepper dispose d'un étage XY pour le mouvement des plaquettes et le positionnement précis, et de capteurs de bobines vocales avancées pour la focalisation incrémentale fine. En termes de sécurité et de fiabilité, ce pas de plaquette est équipé de plusieurs caractéristiques telles qu'un dispositif TEMIR d'arrêt de faisceau et d'arrêt de tuyau de sécurité, des garde-ventilateurs, des systèmes de contrôle d'incendie, des capteurs de température, des aimants de porte et d'autres dispositifs de sécurité. Enfin, le stepper est certifié CE et répond à toutes les exigences de sécurité en termes de conception, de performance et d'exploitation industrielle. Dans l'ensemble, la série ASML PAS 5500/700 wafer stepper offre une performance d'imagerie lithographique optimale adaptée aux processus semi-conducteurs les plus exigeants. Son ouverture numérique élevée, sa flexibilité d'exposition et son modèle avancé de commande de mouvement, ainsi que ses caractéristiques de sécurité et de fiabilité, en font un choix idéal pour les fabricants de circuits intégrés, de puces de silicium et d'autres semi-conducteurs.