Occasion ASML PAS 5500 / 700B #293779167 à vendre en France

ASML PAS 5500/ 700B est un pas de plaquette de pointe utilisé en photolithographie. C'est un équipement de balayage avec un noyau commandant qui dispose d'un mouvement précis, continu et la stabilité à long terme. Son application principale est dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, dans lesquels une plaquette pré-expansée est transférée sur l'étage et l'alignement de précision est réalisé à l'aide d'expositions lithographiques. Le stepper est un système d'imagerie entièrement automatisé par ordinateur. Il contient un cadre métallique de haute précision, appelé étage de plaquette, qui a à la fois les axes de mouvement X et Y. L'étage est motorisé et a la capacité de se déplacer dans des intervalles de 0,5 à 4,0 microns. Il a également la capacité de mesurer sa position avec une précision de 0,1 micron pas de taille. Son codeur linéaire assure un contrôle répétable du mouvement de l'étage. L'étage de plaquettes peut accueillir des plaquettes jusqu'à 10 "de diamètre avec un maximum de 45 mm d'épaisseur. Le stepper peut accueillir des plaquettes d'une épaisseur comprise entre 7µm et 5mm. En plus de supporter des plaquettes avec différents niveaux de planéité, le stepper contient une unité de calibration capable de détecter les erreurs de forme et de corriger les images exposées. Le PAS 5500/ 700B est équipé d'une source lumineuse de grande puissance et d'une gamme de lentilles à haute résolution. Il offre une gamme d'expositions, y compris des expositions ligne/espace et de contact, ainsi qu'un rapport d'aspect élevé et un masquage de forme complexe. De plus, sa configuration optique avancée et sa machine miroir permettent d'affiner la focalisation photorésist et la profondeur de champ. Le stepper est également équipé d'un outil d'analyse d'image haute performance. Il est capable de détecter des défauts et des non-conformités dans les images à un niveau de 0,25 µm. Cela permet des plaquettes pratiquement parfaites sans défectivité. La conception robuste, fiable et reconfigurable de l'ASML PAS 5500/ 700B permet un fonctionnement rapide et à haute résolution avec une vitesse maximale de 35 expositions par seconde. De plus, le stepper présente une large gamme de granularité, allant des expositions en plein champ aux expositions en champ partiel, offrant une plus grande flexibilité dans les applications de production. PAS 5500/ 700B est un pas de plaquette puissant et polyvalent qui offre des performances fiables et de haute résolution. C'est un outil approprié pour la réalisation de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Son optique avancée, son atout d'imagerie et son fonctionnement automatisé permettent une lithographie très efficace et précise.