Occasion ASML PAS 5500 / 750 #293812077 à vendre en France
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ASML PAS 5500/750 est un outil de lithographie à balayage électronique (EBL) de 5 mégapixels conçu pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il est capable d'exposer diverses géométries de puces avec des résolutions aussi fines que 0,3 micron, à des vitesses de balayage allant jusqu'à 50 nanomètres par seconde. La fonction principale de l'outil de lithographie est de créer des motifs complexes de sous-micromètres à la surface d'une plaquette, permettant la fabrication de circuits intégrés plus denses et plus performants. Pour ce faire, la plaquette est montée sur un étage XY et traverse la poutre qui descend de quatre étages linéaires. Le faisceau d'électrons est dévié par l'ensemble aimant, qui est composé d'une alimentation bipolaire, de deux bobines coaxiales indépendantes, et de deux ensembles différents de bobines de déflexion. L'alimentation génère le faisceau d'électrons, tandis que les bobines contrôlent la taille, la forme et le mouvement du faisceau. Il est capable de produire des caractéristiques très fines, complexes, capables de satisfaire la demande de procédé semi-conducteur moderne. L'environnement de production électronique est très propre pour réduire les risques de contamination. L'outil est placé dans une chambre à vide, qui fournit un environnement exempt de poussière, de contaminants gazeux et de particules. Le système de lithographie est également livré avec un haut niveau d'ingénierie pour contrôler sa température et son humidité. PAS 5500/750 est le choix idéal pour ceux qui recherchent une solution EBL fiable et précise. Il est très efficace et facile à utiliser avec un logiciel intuitif qui rend le processus d'exploitation simple. Son haut degré de précision garantit que les résultats finaux sont de la plus haute qualité et des spécifications. L'outil dispose de nombreuses fonctionnalités conviviales telles qu'un éditeur graphique pour simplifier le processus d'exposition des plaquettes, une fonction de balayage uniforme qui élimine les effets de balayage non uniformes, et une interface utilisateur riche en fonctionnalités. Il est également livré avec une série de dispositifs de sécurité pour minimiser le risque de contamination accidentelle de la plaquette. C'est un outil essentiel pour ceux de l'industrie des semi-conducteurs, offrant un moyen fiable et rentable de produire des motifs complexes à la surface d'une plaquette. C'est un excellent choix pour quiconque cherche une solution lithographique plus précise.
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