Occasion ASML PAS 5500 / 750 #293826857 à vendre en France
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ASML PAS 5500/750 est un pas de plaquettes, ou scanner photolithographique, produit par la société néerlandaise ASML. Le dispositif est utilisé par les fabricants de semi-conducteurs pour fabriquer des puces informatiques. Il fonctionne en projetant une image d'un motif de circuit sur une plaquette de silicium qui sert ensuite à réaliser des transistors et d'autres composants. PAS 5500/750 pas se compose de trois composants clés - l'équipement optique d'éclairage i-line, l'ensemble de lentilles de projection, et le système de positionnement. L'optique d'éclairage fournit un éclairage à la plaquette. Il est composé de plusieurs composants dont un laser, un obturateur, divers filtres, un séparateur de faisceau et un amplificateur de faisceau et comprend la capacité de réaliser des alignements de plaquettes et des corrections de champ. L'ensemble des lentilles de projection est chargé de maintenir la qualité de l'image en contrôlant l'aberration et le coma, ainsi que de réduire les distorsions, le coma et l'astigmatisme. Il se compose de six lentilles de focale variable et est monté sur une plate-forme mobile. Le modèle ASML PAS 5500/750 dispose d'une lentille de projection MicroTwin 10x capable de produire des images avec une résolution de 10-20 nanomètres. La machine de positionnement est constituée d'un étage motorisé et de codeurs de haute précision. Il est responsable du positionnement précis de la plaquette pendant l'imagerie et de l'alignement du champ de vision et du pennage de la lentille d'imagerie. De plus, l'outil de positionnement peut être configuré pour supporter les champs de balayage du stepper et peut effectuer l'alignement global des champs, l'alignement local des champs et le balayage local des champs. Combinés, ces composants permettent à PAS 5500/750 de projeter des images haute résolution de motifs de circuits sur des plaquettes. Cela passe par une série d'étapes, y compris le pré-alignement, l'alignement sur le terrain, l'imagerie et la post-imagerie. ASML PAS 5500/750 a un haut degré de précision et peut produire des images avec des tailles de pixels aussi petites que 0,1 micromètre. Ceci en fait un choix idéal pour produire des puces à haute densité de circuit. De plus, les algorithmes de couture de champ du stepper permettent un assemblage sans erreur de plusieurs types de périphériques dans une seule plaquette. PAS 5500/750 est un pas de plaquette avancé de l'ASML qui est utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il est composé de trois composants - un atout optique d'éclairage, l'ensemble des lentilles de projection et le modèle de positionnement - qui travaillent ensemble pour projeter avec précision des images de motifs de circuits sur des plaquettes. Grâce à ses codeurs de haute précision et à ses algorithmes de couture sur le terrain, le stepper est en mesure de produire des puces avec des caractéristiques extrêmement petites et une densité de circuit élevée.
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