Occasion ASML PAS 5500 / 750 #9194126 à vendre en France

ASML PAS 5500/750 est un outil de lithographie de simulation avancée utilisé par les fabricants de semi-conducteurs pour produire des motifs complexes à la surface des plaquettes de silicium et d'autres matériaux. Cet équipement est une solution pas à pas semi-conductrice complète, offrant débit, précision et précision bien supérieure aux solutions concurrentes. Le système dispose d'une unité intégrée double axe (XY) sous-champ Aligner, une machine de correction d'aberration sous-terrain, et un scanner spot variable pour la livraison de faisceau. L'outil Aligneur sous-terrain permet un alignement précis du motif désiré sur la plaquette, quelle que soit la taille du grain ou toute autre irrégularité. Cet actif pointe à +/-200nm précision absolue pas à pas micro-nudge. Après avoir passé par le modèle de Subfield Aligner, la plaquette passe par l'équipement de correction d'aberration de Subfield pour corriger automatiquement les aberrations introduites lors des étapes de traitement et d'écriture de la plaquette. Ce système est également capable de compenser une grande partie de la distorsion lithographique induite par le matériau de la plaquette. Enfin, la plaquette passe par le Variable Spot Scanner qui utilise un algorithme avancé d'optimisation des paramètres de commande de focalisation électrique pour offrir une précision de livraison de faisceau inégalée pour toutes sortes de plaquettes. Cette unité dispose également d'une technologie de Jetting Dual-Beam pour aider à obtenir un temps d'exposition optimal et des performances d'intensité. En outre, cette machine est capable de faire 5500 expositions par heure, tout en restant très économe en énergie et silencieux pendant le fonctionnement. Pour compléter, PAS 5500/750 est de conception modulaire, ce qui signifie qu'il peut être adapté pour répondre à tout besoin de production avec les derniers composants et fonctionnalités. En outre, l'outil est compatible avec les plateformes logicielles les plus populaires et est hautement configurable, ce qui le rend adapté aux paramètres de production haut de gamme ainsi qu'aux laboratoires à moindre coût. Dans l'ensemble, l'ASML PAS 5500/750 est une solution pas à pas tout en un capable de produire des motifs très précis sur toutes sortes de surfaces de matériaux. Ses composants et caractéristiques puissants en font l'un des outils de lithographie de simulation les plus avancés disponibles, offrant un débit inégalé, précision, précision et efficacité énergétique.