Occasion ASML PAS 5500 / 750D #293811828 à vendre en France

L'ASML PAS 5500/750 est un appareil pas à pas de plaquettes performant et économique conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs à haut volume. Il s'agit d'une configuration à quatre ou six colonnes qui fournit une exposition uniforme et un mouvement pas à pas. Le système est capable de haute résolution et précision pendant le contrôle de l'exposition et la répétabilité dans les étapes optiques. Le pas peut être configuré avec deux colonnes optiques et une colonne réduite avec un détecteur et un module de lampe. La colonne optique principale est équipée d'un module optique HexaScan qui est un scanner bidimensionnel à six faisceaux laser, ce qui augmente la taille du champ d'imagerie de cinq fois par rapport à un scanner hexagonal classique à quatre faisceaux. La deuxième colonne permet d'inspecter la position de la plaquette et la topographie du motif sur la plaquette. L'unité utilise une machine avancée de contrôle en boucle fermée pour l'étape pas à pas et les bras optiques pour le balayage en douceur. PAS 5500/750 est équipé d'une gamme de capacités d'imagerie et comprend un microscope de reconnaissance in situ, l'auto-étalonnage, la surveillance des processus et l'auto-focus. L'outil est conçu pour fournir une performance optimale en fournissant des expositions précises, de faible puissance et uniformes, fournissant une large gamme de paramètres d'éclairage et de détection précise des caractéristiques. En outre, l'actif est conçu pour fournir un alignement précis et cohérent sur la plaquette et une précision dans la détection des erreurs de recouvrement et de désalignement. Le pas de plaquette est capable de fonctionner à des vitesses de production élevées et est configurable avec de multiples options de contrôle thermique telles qu'un vide sec et des systèmes de refroidissement liquide pour assurer des opérations de haute performance. Le modèle est capable de scanner et de conduire des champs d'affichage à une gamme de vitesses et peut le faire jusqu'à plusieurs milliers de plaquettes par heure. Le stepper dispose également d'une plate-forme de traitement fiable et assure le transfert des cassettes. L'ASML PAS 5500/750 est un équipement puissant et polyvalent pour pas de plaquettes qui offre une imagerie de haute qualité et qui peut facilement gérer une variété de processus de fabrication d'appareils. Grâce à son système de contrôle avancé, à des éléments optiques précis et à des modes de fonctionnement multiples, l'unité est en mesure de fournir une exposition uniforme et cohérente à de multiples niveaux de traitement et peut gérer des volumes plus élevés que d'autres systèmes. Un fonctionnement fiable et efficace permet à la machine d'offrir des performances exceptionnelles à un coût abordable.