Occasion ASML PAS 5500 / 750E #293812100 à vendre en France

ASML PAS 5500/ 750E est un pas de plaquette haute performance spécialement conçu pour répondre aux besoins et aux défis de la production de semi-conducteurs. Il s'agit d'un grand pas de projection en immersion optimisé pour des applications de photolithographie et de superposition de plaquettes extrêmement précises et à haute résolution. L'équipement est capable de produire une filière photosensible de haute qualité pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de haute performance, de rendement élevé et fiables. Le PAS 5500/ 750E est composé d'un sous-système optique, d'une base en granit, d'un étage de translation à deux axes et d'un support moteur. Son système d'optique de projection est constitué d'un objectif catadioptrique à ouverture numérique élevée, corrigé à l'infini, avec un champ maximum de 1.2mm. Le sous-système optique est également équipé d'un interféromètre laser et d'un séparateur de faisceau télécentrique. De plus, le stepper est équipé d'une caméra 10X et d'un étage de pas numérique avec une résolution de pas de 1,5 mm. La base en granit, qui assure la stabilité structurelle et l'amortissement des vibrations, fait partie intégrante du contrôle de processus de l'unité, qui est rigide. L'étape de traduction contient un moteur linéaire de rétroaction et est pilotée par une machine numérique de commande de mouvement avec une répétabilité de 0,5 µm et une précision orthogonale de 5 µm. Le moteur est commandé par un module électronique ASML et contient un circuit de transformation en temps réel pour contrôler avec précision les deux axes de mouvement. Le support moteur a une capacité maximale de manutention du courant de 5.5A. L'outil de contrôle du stepper est basé sur un actif d'exploitation de type Linux, et il est équipé d'un modèle de reconnaissance de plaquettes (WRS), de niveaux de calcul programmables, de décalage de champ, de protection contre les abus de masques et de second contact. Le WRS identifie la taille et l'épaisseur des plaquettes et ajuste les paramètres de génération des motifs en conséquence. Dans l'ensemble, l'ASML PAS 5500/ 750E est une solution idéale pour les applications de photolithographie haut de gamme en raison de son optique avancée, de sa commande de mouvement de précision et d'autres caractéristiques qui le rendent très précis, fiable et productif.