Occasion ASML PAS 5500 / 750F #293822111 à vendre en France
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ASML PAS 5500/ 750F est un pas de plaquette, également appelé pas, qui est utilisé dans le procédé de fabrication de semi-conducteurs. C'est un équipement de lithographie de précision qui est utilisé pour transférer un motif spécifié sur un photomasque à la surface d'une plaquette semi-conductrice. Il peut manipuler des plaquettes de 2 à 8 pouces (50 à 200 mm) et des tailles aussi petites que 0,35 μ m. PAS 5500/ 750F réalise des images de haute qualité via son système optique, lui permettant de modeler de petites structures avec un détail et une précision très fins. ASML PAS 5500/ 750F dispose d'une chambre de mini-alignement, qui est utilisée pour aligner avec précision le photomasque avec la plaquette avant chaque exposition. La chambre permet un alignement fin, ce qui permet d'assurer une grande précision d'exposition. A l'intérieur de l'unité, il y a une machine d'alignement optique avancée qui permet un alignement automatique, rapide et précis des composants du masque et de la plaquette. L'outil optique dans PAS 5500/ 750F fournit des images vives et haute résolution, de sorte que les plaquettes peuvent être modelées selon les spécifications souhaitées. Un gaz inerte est utilisé pour aider à protéger la plaquette contre les dommages et la contamination pendant l'imagerie. ASML PAS 5500/ 750F dispose également d'un atout d'éclairage avancé, offrant une uniformité optique supérieure, avec une uniformité et un débit supérieurs à ceux des systèmes concurrents. Le modèle comprend également une unité de contrôle de balayage avancée, permettant un contrôle précis des motifs pendant le balayage. La fonction de contrôle du balayage garantit que les motifs sur la plaquette sont reproduits avec précision dans le temps et l'espace. PAS 5500/ 750F utilise un équipement galvanomètre de haute précision pour fournir la plus grande précision de balayage possible. De plus, sa fonction d'exposition automatisée facilite la programmation et le contrôle des paramètres de positionnement, d'exposition et de réinitialisation. L'ASML PAS 5500/ 750F est équipé d'une fonction sophistiquée de contrôle des processus pour s'assurer que les motifs sur la plaquette sont produits correctement. Il dispose également de capacités d'analyse de données post-exposition pour comprendre la fidélité des motifs et la forme des plaquettes. Le système offre également une large gamme d'options pour optimiser davantage le processus de production, telles que la superposition lithographique, le contrôle de la focalisation des réticules et la reconnaissance automatique des réticules multiples. Dans l'ensemble, PAS 5500/ 750F est un pas de plaquette avancé qui offre une précision de mesure et un contrôle de processus supérieurs. Il est conçu pour maximiser la qualité d'image pour les grandes et les petites structures, tout en maintenant les niveaux les plus élevés de contrôle des processus et de débit. Ses capacités de contrôle automatisé des processus et d'analyse des données en font une solution idéale pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs.
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