Occasion ASML PAS 5500 / 850 #9186902 à vendre en France

ASML PAS 5500/850 est un type de pas de plaquettes qui est utilisé dans le procédé de fabrication de semi-conducteurs. Il est utilisé pour l'imagerie répétitive d'un motif sur la surface supérieure d'une plaquette, généralement pour la réalisation de circuits intégrés. PAS 5500/850 utilise une combinaison d'optiques avancées, de systèmes de positionnement de haute précision et de mécanismes précis de manipulation des plaquettes pour les matrices d'image sur les plaquettes semi-conductrices. L'équipement se compose d'un pré-aligneur et d'un aligneur, ainsi que d'un miroir de balayage et d'une lentille d'ouverture, qui fonctionne avec la source et le détecteur sans masque à base laser. Le pré-aligneur est utilisé pour le positionnement précis de la filière sur la plaquette, en utilisant la lumière laser et la reconnaissance d'image. Le pré-aligneur est également utilisé pour détecter des défauts de filière. L'aligneur obtient une plus grande précision avec un système de commande asservi. Le miroir de balayage et la lentille d'ouverture sont utilisés pour coordonner la configuration optique avec la source sans masque et détecter le motif. ASML PAS 5500/850 est également équipé d'une variété de fonctions de réglage et de contrôle. Il présente un étage de grande précision pour un alignement précis de la filière sur le motif de la plaquette. Il dispose également d'un revêtement antireflet pour réduire le rebond lumineux de la surface de la plaquette. En outre, l'unité comprend une fonction auto-focus qui peut ajuster automatiquement la focalisation de l'image afin que la résolution de l'image puisse être atteinte. Pour des procédés tels que la photolithographie, la machine est livrée avec un module supplémentaire qui est connecté à l'étape. Ce module est chargé de développer la résine, qui sert à transférer le motif du masque sur la plaquette. De plus, PAS 5500/850 est capable de supporter plusieurs tailles de plaquettes, et l'outil comprend des algorithmes pour ajuster la dose d'exposition nécessaire pour maintenir des résultats cohérents pour différentes tailles de plaquettes. Dans l'ensemble, ASML PAS 5500/850 wafer stepper est un matériel essentiel pour l'industrie des semi-conducteurs. Il combine plusieurs systèmes et technologies pour offrir un processus d'imagerie fiable et précis pour la production de circuits intégrés. En utilisant une optique sophistiquée, un positionnement précis, une focalisation automatique et des doses d'exposition réglables, les fabricants de semi-conducteurs sont en mesure de créer des composants électroniques de haute qualité.