Occasion ASML PAS 5500 / 850C #293817849 à vendre en France

ASML PAS 5500/ 850C est un pas de tranche de haute précision et haute productivité. Il a été conçu et construit pour répondre aux exigences toujours croissantes des fabricants de semi-conducteurs d'aujourd'hui. Il est idéal pour produire des circuits intégrés, des puces mémoire et une variété d'autres IC complexes au niveau des plaquettes. Le 850C utilise un équipement propriétaire de lithographie par faisceau, composé d'une unité d'optique de projection et d'un étage de balayage avancé. Il utilise une lentille à faible kV, haute ouverture numérique (NA) pour fournir une résolution supérieure, permettant à la disposition des puces de conserver leur intégrité même pendant le traitement complexe des plaquettes. En outre, une source lumineuse de haute intensité assure le plus haut débit et les meilleurs résultats d'imagerie. Le 850C utilise un grand nombre d'outils d'inspection de processus de défauts, y compris la détection d'images aériennes, l'analyse automatisée des pannes et l'inspection en cas de défaillance. Lors de l'inspection des plaquettes, le système breveté « QuadTech » évalue les IC pour tout défaut induit par le processus, ainsi que toute anomalie associée au processus photolithographique. De plus, l'outil intégré d'inspection des bords permet de détecter rapidement les mauvais bords. En termes de précision, le 850C dispose d'un codeur de déplacement avec une résolution de pas de 1nm et une précision de linéarité de +/-75nm. La machine autofocus intégrée permet également d'obtenir une planéité optimale des plaquettes, minimisant ainsi l'impact du désalignement ou du profil de chaîne de surface des plaquettes. Afin de fournir des performances robustes et à long terme, le 850C est construit avec une option de taux de rotation étendu, ce qui permet d'assurer des résultats fiables et cohérents, même lors du traitement de puces de haute puissance ou de géométries de mise en page difficiles. En outre, son interface utilisateur intuitive et ses capacités de suivi des processus permettent un dépannage et un suivi des rendements faciles. Dans l'ensemble, PAS 5500/ 850C est un pas de plaquette fiable et haut de gamme qui offre une résolution supérieure, une inspection impeccable des défauts et des performances à long terme. C'est un appareil parfait pour les industries de haute technologie nécessitant des résultats de qualité avec un délai d'exécution plus court.