Occasion ASML Power box #293671352 à vendre en France

ASML Power box est un type d'étape de plaquette utilisé dans le processus de semi-conducteur. C'est un outil avancé conçu pour positionner et exposer avec précision les plaquettes semi-conductrices à différents types de rayonnement. La machine utilise des moteurs X, Y et Z pour déplacer l'étage et régler les paramètres d'éclairage sur la plaquette. Cela permet une lithographie très précise des petits appareils et une haute densité de caractéristiques. Les paramètres de base de Power box sont les suivants : surface d'imagerie - 300 mm ; taille de l'image - 200 à 500 nm ; sources d'éclairage - UV, IR et visible ; dose d'exposition comprise entre 0,1 et 10 µJ/cm2 ; répétabilité - < 1 µm. La machine dispose également de capacités d'automatisation avancées pour le chargement et le déchargement des plaquettes, ce qui la rend facile à entretenir. Afin d'atteindre le plus haut niveau de qualité d'image, ASML Power box utilise deux composants principaux ; l'ensemble de la lentille de balayage et le système de l'étage de la plaquette. L'ensemble de la lentille de balayage est constitué de miroirs asservis qui dirigent un faisceau lumineux vers la plaquette. Les miroirs se déplacent dans les 3 axes pour définir le foyer, la résolution spatiale et les paramètres d'exposition du processus de lithographie. Le système d'étages de plaquettes est composé d'une table fixe et d'un étage mobile, qui se déplace dans les directions X, Y et Z pour diriger la poutre à différents endroits de la plaquette. Différents types de rayonnement peuvent être utilisés avec Power box, y compris le faisceau électronique, les UV extrêmes, les rayonnements ionisants et l'infrarouge. La machine est également équipée de plusieurs dispositifs de sécurité, tels que l'arrêt automatique et les alarmes laser. ASML Power box est un outil incroyablement avancé qui offre un contrôle précis sur le processus de lithographie. Avec ses multiples sources d'éclairage et ses images de haute qualité, Power box est idéal pour la fabrication de petits appareils à haute densité de caractéristiques.