Occasion ASML Twinscan AT 1100B #293652583 à vendre en France
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ID: 293652583
Taille de la plaquette: 8"-12"
Style Vintage: 2003
ArF Scanner, 8"-12"
193 nm
STARLITH 1100 Lens 4x
(2) Reticle SMIF pods, 6"
Throughput: >60 WPH
Scan field: 26 x 32 nm
Conventional illuminator: 0.85 - 0.33
DOE Turret illuminator with quasar
CYMER NANOLITH 7000 Series ArF laser, 20 W
SUN SPARC Remote workstation
Chemical extraction system
FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 Tracking interface
SECS I
SECS II
Annular
2003 vintage.
ASML Twinscan AT 1100B est un pas de tranche de haute précision conçu pour la fabrication de semi-conducteurs de nouvelle génération. Il fournit un traitement précis et répétable des photomasques simples et de grande surface jusqu'à 180 millimètres (mm) de diamètre, avec des technologies avancées d'alignement et de vérification pour garantir le rendement et la qualité. Cette machine multi-faisceaux est équipée d'un équipement de scène avancé et d'un système d'éclairage de pointe qui permet une résolution maximale de l'image. La vitesse élevée, la précision et la répétabilité de la machine la rendent idéale pour la production de plaquettes avec des caractéristiques avancées. Twinscan AT 1100B dispose d'une architecture à balayage unique avec une unité de focalisation dynamique qui assure une focalisation précise et une vitesse de balayage dynamique qui maintient une vitesse de balayage cohérente sur l'ensemble de la puce. La machine est équipée d'un puissant outil de transport de masque robuste pour un positionnement précis et un alignement d'image, et d'un étage de plaquette intégré pour une manipulation fiable des plaquettes. En outre, la machine est équipée d'outils de reconnaissance et de vérification de motifs optiques qui fournissent des retours sur les performances et les données du produit. ASML Twinscan AT 1100B possède un atout d'imagerie à faible grossissement qui peut être utilisé pour inspecter et vérifier les photomasques avant la production, tandis que les scanners à haute résolution assurent des performances lithographiques précises. La machine est également équipée de systèmes avancés de surveillance lithographique et de métrologie pour assurer une surveillance continue tout au long du processus. La machine est capable de traiter jusqu'à 180 plaquettes par heure et est prête à gérer une large gamme de photomasques multiples grâce à l'utilisation de systèmes avancés de mesure d'épaisseur de film. En résumé, Twinscan AT 1100B est un pas de plaquette puissant, précis, fiable et robuste qui fournit une reproduction lithographique précise des photomasques. Avec son modèle d'étape avancé, son équipement d'éclairage innovant et ses outils intégrés de manutention des plaquettes, ASML Twinscan AT 1100B est un excellent choix pour fabriquer des IC complexes avec une précision rigoureuse.
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