Occasion ASML Twinscan AT 1100B #293667141 à vendre en France

ASML Twinscan AT 1100B est un pas de tranche avancé qui est utilisé pour la photolithographie dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est un outil de lithographie haute performance qui offre une résolution supérieure, une excellente uniformité et un temps de cycle rapide, permettant une fabrication de semi-conducteurs à haut volume. L'équipement de balayage de TwinScan est composé de deux optiques lithographiques haut de gamme (optiques 1 et 2) dans une configuration de balayage à deux miroirs. Cette configuration offre une imagerie supérieure et une excellente uniformité sur l'ensemble de la plaquette, et est capable de répondre à une large gamme de tailles de plaquettes. Les optiques avancées de TwinScan offrent également des niveaux de résolution supérieurs, balayant jusqu'à 0,35 µm de taille avec son NA maximum égal à 0,9. D'autres fonctionnalités de Twinscan AT 1100B incluent son logiciel de contrôle avancé et convivial, qui permet un fonctionnement facile et la personnalisation du système. Cela minimise également le temps d'alignement et permet une mise en place rapide des plaquettes. L'unité fournit également une fonction d'auto-dépannage qui peut rapidement identifier et résoudre les erreurs de machine. Le TwinScan est conçu pour fournir une métrologie supérieure, ce qui est essentiel pour les processus de photolithographie. Il est équipé d'un outil de métrologie active, qui utilise un bouclier d'interférence monochromatique pour détecter les erreurs de topographie 3D. Il dispose d'un mode de couture multi-champs de recouvrement de plaquettes, qui est utile pour la couture précise des images multi-champs. L'ASML Twinscan AT 1100B dispose également d'un atout à vide élevé et d'un modèle de chargement de plaquettes précis, permettant des performances élevées et un débit élevé. De plus, son équipement avancé de cuisson à la résistance empêche la combustion de la résistance pendant l'exposition, ce qui améliore les performances. Dans l'ensemble, Twinscan AT 1100B est un pas de tranche haut de gamme qui offre une résolution imbattable, une uniformité et un temps de cycle. Ses caractéristiques avancées et sa métrologie de haute précision en font un choix idéal pour les environnements de production qui nécessitent une précision maximale et une production de haut volume.