Occasion ASML Twinscan AT 1100B #293816605 à vendre en France
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ID: 293816605
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
ArF Scanner, 12"
X-Y Coil ATC assembly
RH Fame fiber
Optic sensor
WS Type 1
(2) Airbearing center LSY Slides, X WS AT
RETICLE BA‑XY‑13X19
RETICLE BE‑FOCAL‑200N
LSY Slide X WS AT
(2) Water circuit wafer filters, 30 µm
ACC Controller
Memory card
Filter
Water circuit filter
Water circuit filling filter
Laser
Optic
Light‑source replacement
Wavelength : 193 nm
Resolution : ≤180 nm
Single machine overlay: ≤40 nm
Throughput (WPH): ≥80
Inline with track
2002 vintage.
ASML Twinscan AT 1100B est un pas de plaquette avancé - une machine utilisée dans l'industrie de la production de semi-conducteurs pour la fabrication de circuits intégrés - produite par la société néerlandaise ASML. Il s'agit d'un stepper basé sur l'immersion et utilise à la fois une lentille haute ouverture numérique correctrice de dispersion et un équipement de lithographie avancé pour modeler des plaquettes avec une précision exceptionnelle jusqu'au noeud de 40 nm. Twinscan AT 1100B a plusieurs composants qui en font une machine idéale pour la fabrication d'IC. L'optique intégrée de correction dispersive réduit les aberrations en front d'onde sur tout le champ et permet une utilisation aux ouvertures numériques jusqu'à 1,35. Les photomasques, qui servent à modeler la surface de la plaquette, sont chargés sur un étage de plaquette, qui est ensuite traduit sur la plaquette à des résolutions allant de 0,05 à 0,10 μ m dans les axes x et y-. La machine est également équipée d'un réticule à deux tons qui supporte une exposition unique, une double exposition et plusieurs applications d'exposition. ASML Twinscan AT 1100B est conçu avec des capacités exceptionnelles d'imagerie et de superposition, ainsi qu'une plate-forme logicielle exclusive pour contrôler le système de lithographie. L'unité fonctionne avec une machine à foyer interne à deux étages, compensant le défocus dû à la non-uniformité des processus, et comprend à la fois des paliers à air et des plans d'étage motorisés. De plus, la machine est capable de surveiller le processus in situ, ce qui permet une rétroaction plus rapide et des corrections au processus d'exposition. Twinscan AT 1100B offre un débit et un coût de propriété supérieurs. La machine peut scanner jusqu'à 500 mm2 par heure et est à la fois facile à entretenir et rentable à utiliser. Il dispose de contrôles intégrés de l'intégrité de l'outil, ainsi que d'un asservissement fiable, ce qui en fait un pas de plaquette très productif et efficace. De plus, l'ASML Twinscan AT 1100B offre une flexibilité maximale dans les processus et les matériaux testés, ce qui signifie qu'il peut gérer un large éventail de processus d'exposition, de l'exposition courte aux recettes multi-exposition. En bref, Twinscan AT 1100B est un pas de plaquette avancé et polyvalent qui est idéal pour fabriquer des circuits intégrés extrêmement précis jusqu'au noeud de 40 nm. Avec ses puissantes capacités d'imagerie et de superposition, ses fonctions de surveillance des processus in situ, son efficacité et son débit exceptionnels, ASML Twinscan AT 1100B est une machine idéale pour l'industrie de la production de semi-conducteurs.
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