Occasion ASML Twinscan AT 1100B #293817674 à vendre en France

ASML Twinscan AT 1100B
ID: 293817674
Argon Fluoride (ArF) scanner.
ASML Twinscan AT 1100B est un pas de plaquette haut de gamme, fabriqué par le fabricant d'équipements de fabrication de semi-conducteurs ASML. Cet équipement est capable de réaliser des motifs extrêmement précis sur la surface supérieure d'une plaquette de silicium ou autre semiconducteur. Le système est composé d'un étage qui maintient la plaquette en place, et de trois principaux éléments mobiles - l'unité d'éclairage, l'objectif et la plaque de projection. La machine d'éclairage est utilisée pour générer une exposition tout à fait uniforme du motif sur la surface de la plaquette. Pour ce faire, on utilise trois lampes halogènes dont la hauteur est réglable pour différents types d'exposition et qui fournissent une intensité lumineuse uniforme à travers la plaquette. Une lampe cathodique creuse est utilisée pour fournir un temps d'exposition stabilisé et ultra-court pour des expositions de haute précision avec un minimum d'effets thermiques. L'objectif est utilisé pour agrandir l'image projetée par la plaque de projection sur la surface de la plaquette, de sorte que le motif créé est précis à la plus haute résolution. L'objectif a une ouverture numérique variable et est capable de zoomer à partir de 1X-4X ce qui permet de réaliser différents types de motifs sur la plaquette avec une précision maximale. La plaque de projection est à côté de la lentille et sert à projeter le motif désiré sur la surface de la plaquette. Cette plaque contient un réseau de miroirs et le motif est généré par quatre lasers, et 180 degrés de mouvement est activé de sorte que les motifs peuvent être créés à partir d'une variété d'angles. Contrairement à d'autres paliers de plaquettes, Twinscan AT 1100B dispose d'un outil d'exposition des couches qui assure l'exposition optimale de chaque couche sans avoir besoin de déplacer ou d'incliner le substrat. Cela augmente la précision et permet d'augmenter les vitesses de production et le rapport coût-efficacité. L'actif est de bureau en taille, mais est facilement déplacé sur les roues d'un endroit à l'autre. Il est capable de produire des motifs extrêmement précis à des résolutions supérieures à 0,5 um qui sont idéales pour les circuits intégrés avancés. L'ASML Twinscan AT 1100B est un excellent choix pour les fabricants de dispositifs semi-conducteurs à la recherche de systèmes de pas de plaquettes haut de gamme.
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