Occasion ASML Twinscan AT 1100B #293817722 à vendre en France

ASML Twinscan AT 1100B est un pas de plaquette de haute précision conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Le pas de plaquette utilise un équipement d'étage très précis, permettant l'alignement précis et l'exposition de la plaquette entière. Le Twinscan est situé sur un portique central, qui abrite deux lentilles mobiles indépendantes. Les lentilles fournissent un puissant système de focalisation de proximité qui assure que la plaquette est toujours dans la même position précise, même après un changement de lentille. L'AT 1100B comporte des mouvements de lentilles de moins de 2,5 nanomètres, avec une plage de focalisation totale allant jusqu'à 1,73 microns. Ce niveau de précision garantit que l'exposition sera constante dans l'ensemble de la plaquette, même lorsque les matériaux photosensibles à la plus haute résolution sont utilisés. L'AT 1100B utilise un contrôle de gain optique avancé afin de maintenir une exposition constante même avec les matériaux photosensibles à la plus haute résolution, ainsi que d'assurer des expositions cohérentes même lorsque la plaquette est inclinée pendant un tir. La plaquette est éclairée par une source de rayons X, d'une largeur de faisceau de 100 microns et d'un diamètre de 0,2 microns. Cela produit un champ d'exposition qui couvre une plaquette complète en seulement six secondes. Le stepper dispose également d'une unité de contrôle avancée intégrée, qui permet à l'utilisateur de surveiller et d'ajuster le champ d'exposition, ainsi que de contrôler les paramètres de mise au point. Cela permet à l'utilisateur d'obtenir la plus grande précision et uniformité sur l'ensemble de la plaquette. De plus, l'AT 1100B dispose d'une machine d'alignement de plaquettes qui utilise un capteur pour déterminer l'emplacement de la plaquette et ajuster le champ d'exposition en conséquence. Enfin, l'étape est équipée d'une multitude de dispositifs de sécurité tels qu'un outil de détection de collision pour s'assurer que la plaquette n'est pas endommagée lors de son exposition. De plus, l'AT 1100B est coté en service continu, ce qui le rend bien adapté aux lignes de production haut de gamme et très précises.