Occasion ASML Twinscan AT 1150i #9112174 à vendre en France

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ID: 9112174
Beam Matching Unit.
L'ASML Twinscan AT 1150i est un premier pas de tranche de photolithographie conçu pour effectuer une lithographie de haute précision des circuits intégrés (IC), des systèmes microélectromécaniques (MEMS) et de l'optique avancée. Cet équipement de scanner automatisé fournit aux clients un débit supérieur, une excellente fidélité au motif et une latitude de processus accrue pour aider à produire les technologies les plus avancées. Twinscan AT 1150i est l'outil de dernière génération, doté d'un nouveau design de scanner, d'un étalonnage in situ et de capacités avancées de métrologie et de contrôle des processus. Il intègre le système de photolithographie ASML avec une conception unique d'unité de scanner avec un balayage linéaire à grande vitesse, un double cadre, un déflecteur unique, et une lentille de champ qui assure une grande uniformité et efficacité. Avec la puissance et la flexibilité de l'ASML Twinscan AT 1150i, les utilisateurs peuvent lithographier des puces avec des tailles de fonctionnalités jusqu'à 20nm tout en obtenant des performances exceptionnelles de marge et de recouvrement. Twinscan AT 1150i permet aux utilisateurs de lithographier des couches spéculaires et non spéculaires très exigeantes avec un contrôle et une précision exceptionnels. La machine utilise également un étage X-Y de haute précision et des systèmes de mouvement de scanner qui permettent un débit élevé et rapide. Il utilise également des détecteurs quadrants pour assurer une uniformité d'image inégalée. En plus des capacités supérieures de lithographie, ASML Twinscan AT 1150i dispose également d'une grande variété d'options avancées de métrologie et de contrôle de processus. Cela comprend un outil avancé de métrologie des réticules, un atout à échelle automatique multi-quadrant, des calculs de profondeur de focalisation et une rétroaction active pour des niveaux plus élevés d'optimisation de la lithographie. En outre, Twinscan AT 1150i dispose d'un modèle d'inspection leader dans l'industrie qui est utilisé pour valider l'intégrité des plaquettes avant de les exposer. La puissance et la stabilité sont deux des caractéristiques les plus importantes de l'ASML Twinscan AT 1150i. Cette machine est alimentée par des systèmes avancés de manutention de plaquettes, comprenant plusieurs étages et robots, et un scanner scellé pour assurer des conditions de travail optimales, quelles que soient les températures ambiantes. Il dispose également d'un routage de plaquettes embarquées, de commutations aériennes à froid et de changements de configuration en vol, ce qui permet un processus de production continu. Twinscan AT 1150i est l'outil idéal pour les technologies de pointe et le design 3D haut de gamme. Il combine des performances de lithographie supérieures et des capacités avancées de métrologie et de contrôle des processus pour assurer la conception de l'appareil de la plus haute qualité. Grâce à sa technologie avancée de source lumineuse et de balayage, l'ASML Twinscan AT 1150i permet aux utilisateurs de créer les appareils les plus performants disponibles aujourd'hui.
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