Occasion ASML Twinscan AT 1150i #9112188 à vendre en France
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ASML Twinscan AT 1150i wafer stepper est une machine de lithographie de pointe largement utilisée dans l'industrie des semi-conducteurs. La machine est capable de réaliser des motifs optiques à haute résolution avec une petite tache de moins de 10 nanomètres. Le 1150i est une machine à balayer de type projection qui utilise un faisceau laser pour produire un motif sur une plaquette. Le faisceau laser est d'abord réfléchi sur un miroir sphérique tournant, qui focalise le faisceau sur une série de petits étages de mouvement. Les étages déplacent le faisceau laser à travers la plaquette selon un motif prédéterminé. La plaquette est montée dans un étage à 5 axes qui permet de la déplacer dans n'importe quelle direction. L'étage est également capable de faire tourner la plaquette pendant le balayage du laser sur la surface. Cette technique permet d'utiliser le 1150i pour de multiples tâches d'exposition et peut même créer plusieurs motifs différents sur une seule plaquette. Le 1150i utilise une technique appelée step and repeat, où il balaye la même section de la plaquette plusieurs fois. Cela permet de construire plusieurs couches d'une plaquette en un seul balayage. De plus, la machine dispose d'un système multi-portes qui permet de régler la focalisation du faisceau laser à la volée. Le 1150i dispose également d'un système de contrôle programmable, qui permet à l'utilisateur de définir des paramètres de vitesse et d'accélération spécifiques autour desquels la machine va fonctionner. Cette fonctionnalité permet à l'utilisateur d'optimiser le système pour divers travaux, tels que le débit élevé ou la faible complexité des motifs, ce qui peut entraîner une augmentation de la productivité. En plus de ses capacités supérieures de numérisation, le 1150i est également en mesure de traiter rapidement les données, assurant une définition rapide et précise des motifs. La machine peut traiter les informations de travail aussi rapidement que dans les 10 millisecondes et est également capable de capacités d'alignement en temps réel. La 1150i est une machine efficace et fiable, offrant une fidélité et une uniformité de motif supérieures. Sa conception robuste et ses caractéristiques intégrées en font un excellent choix pour la fabrication de semi-conducteurs ainsi que pour la recherche et le développement.
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