Occasion ASML Twinscan AT 1200 #293820027 à vendre en France
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ID: 293820027
Scanner
GIGAPHOTON G42A4 laser
Known issues: machine is down; only C&T (Clean & Test) is operational.
ASML Twinscan AT 1200 est un pas de tranche de pointe qui représente le sommet de la technologie de photolithographie. Il est conçu et fabriqué par ASML, une entreprise leader dans l'industrie des équipements semi-conducteurs. Le modèle AT 1200 fait partie de la série Twinscan, connue pour sa grande précision, ses capacités d'imagerie avancées et son débit exceptionnel. Ce pas de plaquette joue un rôle crucial dans le processus de fabrication des dispositifs semi-conducteurs en permettant un tissage précis des plaquettes semi-conductrices à l'échelle nanométrique. Au cœur de Twinscan AT 1200 se trouve un équipement optique sophistiqué qui exploite la technologie de pointe pour obtenir une résolution et une précision inégalées. Le système utilise une source de lumière ultraviolette profonde (DUV) d'une longueur d'onde de 193 nanomètres, ce qui permet de créer des motifs extrêmement fins sur la surface de la plaquette. La lentille de projection haute ouverture numérique (NA) dans l'étage permet la focalisation efficace de la lumière sur la plaquette, assurant des motifs nets et bien définis. Une des caractéristiques clés de l'ASML Twinscan AT 1200 est son alignement avancé et ses capacités de focalisation. L'unité est équipée de capteurs d'alignement multiples et d'algorithmes qui permettent le recouvrement précis de différentes couches de motifs sur la plaquette. Cet alignement est essentiel pour assurer la précision et la cohérence du dispositif semi-conducteur final. De plus, le stepper intègre des mécanismes avancés de contrôle de la focalisation qui maintiennent le plan focal optimal pendant l'exposition, même en présence de topographie de wafer et d'autres facteurs qui peuvent affecter la focalisation. Twinscan AT 1200 est conçu pour une productivité et un débit élevés, ce qui le rend bien adapté à la production de volume dans les installations de fabrication de semi-conducteurs. La machine est équipée d'un étage de plaquette à grande vitesse qui peut déplacer rapidement la plaquette en position d'exposition, minimisant les temps de cycle et augmentant la productivité globale. En outre, le stepper dispose de capacités d'automatisation avancées qui rationalisent la configuration et le fonctionnement de l'outil, réduisant le besoin d'intervention manuelle et assurant une production efficace. En termes de capacités de façonnage, l'ASML Twinscan AT 1200 offre une large gamme d'options pour créer des motifs variés sur la surface de la plaquette. L'actif supporte diverses techniques d'amélioration de la résolution, telles que les masques de déphasage et la correction optique de proximité, pour permettre la production de motifs complexes et denses avec une grande fidélité. De plus, le stepper peut accueillir différents types de matériaux photorésistants et de paramètres de processus, permettant aux fabricants de semi-conducteurs d'optimiser le processus de fixation pour leurs besoins spécifiques. Dans l'ensemble, Twinscan AT 1200 représente une solution de pointe pour la lithographie semi-conductrice, combinant une technologie optique de pointe, des capacités d'alignement et de focalisation précises, une productivité élevée et des options de modélisation polyvalentes. Avec ses performances et sa fiabilité inégalées, ce pas de plaquette joue un rôle essentiel dans la production de dispositifs semi-conducteurs avancés avec des tailles de caractéristiques toujours plus réduites et une complexité croissante. Les fabricants de semi-conducteurs s'appuient sur l'ASML Twinscan AT 1200 pour répondre aux exigences exigeantes de la fabrication moderne de semi-conducteurs et stimuler l'innovation dans l'industrie électronique.
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