Occasion ASML Twinscan NXT 1970Ci #293817825 à vendre en France

ASML Twinscan NXT 1970Ci est un pas de plaquette basé sur la lithographie. Il utilise une source DUV (deep ultraviolet) pour exposer des motifs sur des plaquettes recouvertes de photorésist de manière couche par couche. Twinscan NXT 1970Ci offre plusieurs avantages uniques par rapport aux systèmes de photolithographie traditionnels, tels que son équipement à vide élevé qui élimine le besoin d'une unité d'échange d'atmosphère et sa grande ouverture numérique qui supporte l'imagerie haute résolution. ASML Twinscan NXT 1970Ci utilise plusieurs scanners en parallèle, permettant un débit plus rapide et plus efficace. Chaque unité de balayage est reliée à un système d'éclairage laser qui utilise des principes de multiplication de longueurs d'onde pour obtenir une résolution optimale et pour correspondre aux exigences de résolution pour chaque couche de photolithographie. Une unité d'étalonnage automatique en vol surveille en permanence le foyer et d'autres paramètres pour garantir une précision et une répétabilité supérieures. Twinscan NXT 1970Ci prend en charge une large gamme de types de films photorésistants standard et de procédés chimiques, offrant une plus grande flexibilité dans l'optimisation des paramètres de lithographie pour chaque type de couche de plaquettes. En outre, la machine offre un contrôle avancé de l'alignement à la fois mondial et local, permettant de coudre une seule exposition sur de grands motifs et des structures sans ombrage d'artefacts. L'ASML Twinscan NXT 1970Ci est équipé de systèmes de commande sophistiqués et d'outils de moniteurs 3D avancés pour assurer un contrôle complet de tous les processus de lithographie et de métrologie. Ces outils comprennent des options de traçabilité, la surveillance couche par couche pour l'optimisation des processus, et la mise en place de tâches entièrement automatisées, ainsi que des fonctions de contrôle de la qualité telles que le contrôle CD/optique. Twinscan NXT 1970Ci offre également des capacités complètes de métrologie et d'inspection, y compris l'inspection 3D complète sans contact, l'imagerie en temps réel, la surveillance de l'épaisseur du film et le contrôle de superposition. En outre, l'outil est compatible avec une grande variété de systèmes de manutention et d'emballage des plaquettes, permettant une intégration homogène dans les lignes d'usine existantes. ASML Twinscan NXT 1970Ci est la solution idéale pour les installations fab à haut débit qui recherchent des solutions de lithographie haute performance. Il permet d'effectuer des analyses économiques, précises et répétables sur une variété de photorésists et d'autres types de films, ce qui en fait un partenaire fiable et polyvalent dans tout processus de fabrication avancé.