Occasion ASML Twinscan XT 1200B #9096080 à vendre en France

ASML Twinscan XT 1200B est un pas de plaquette avancé pour la fabrication de circuits intégrés. Il est utilisé pour modeler avec précision les photomasques sur les plaquettes semi-conductrices lors de la fabrication des puces. Le XT 1200B est basé sur la technologie de balayage à double faisceau ASML et dispose d'un sous-système optique de pointe et d'une efficacité de champ de balayage haute performance. Le XT 1200B est équipé de deux éléments optiques diffractifs (DOE) dans chaque unité de projection et comprend un système intégré d'imagerie en résiste. Les EOD utilisent deux chemins optiques distincts pour corriger précisément les aberrations afin de produire des motifs de lignes sous-microns focalisés. Le système intégré d'imagerie en résiste permet un masquage faible de couches minces ou épaisses de photorésistes à motifs. La précision d'alignement de la XT 1200B est de 12nm (1 σ) avec 2nm de dérive, améliorant la gravure et le rendement du produit fini. Il met en oeuvre la mesure et la surveillance de paramètres critiques de la machine tels que la planéité réticule/plaquette, l'uniformité du faisceau, la précision de positionnement et de pointage, et même le comportement électrique du substrat lors de la mise à terre. Le XT 1200B possède un champ de balayage réticulaire de 12 pouces, un taux de balayage plein champ de 15,25 millions de pixels par seconde et un taux de balayage total de la plaquette de 124 millions de pixels par seconde. Son ouverture numérique maximale de 0,25 fournit une limite de résolution inférieure à 0,25 micromètre. Le XT 1200B dispose également de grandes doses allant jusqu'à 600 mJ/cm ^ 2 qui permettent des expositions plus rapides dans le cas de résistances plus épaisses. En outre, ce modèle offre une gamme complète d'outils d'analyse et de reporting de données qui permettent aux utilisateurs d'optimiser les performances de la machine en ce qui concerne la résistance à l'imagerie, la superposition et les dommages aux lentilles. Le XT 1200B est également livré avec étalonnage automatisé et correction d'aberration pour une stabilité et des performances continues. Dans l'ensemble, Twinscan XT 1200B est un pas de plaquette de pointe qui est bien adapté pour la production à haut volume de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il combine une excellente précision d'alignement, un débit élevé et des fonctionnalités avancées telles que la correction d'aberration et l'imagerie intégrée de résistance pour s'assurer que chaque lot de semi-conducteurs sort parfait de l'usine.