Occasion ASML Twinscan XT 1250D #293602263 à vendre en France

L'ASML Twinscan XT 1250D est un pas de plaquette avancé, très précis et polyvalent conçu pour répondre aux exigences de production des applications de plaquettes 300mm. Il est capable de manipuler une large gamme de couches de lithographie de la photorésist au métal et au-delà. Il dispose d'un étage de scansion haute vitesse de 1250 mm avec un moteur linéaire de précision et des codeurs haute résolution pour un positionnement précis. La vitesse maximale de l'étage est de 450 mm/s et il a une répétabilité au niveau de 10nm. ASML TWINSCAN XT:1250D possède un projecteur à fente de 11µm exceptionnellement grand et à haute résolution, avec une résolution optique supérieure à 1 nm. La haute résolution est obtenue grâce à l'utilisation de DCM (Dot Calibration Method) et de moteurs à double recouvrement, qui corrigent toutes les imperfections pour assurer une imagerie exacte. De plus, l'équipement est équipé d'un ensemble puissant de contrôle de l'éclairage (IC) capable de gérer jusqu'à quatre sources lumineuses et une gamme difficile d'environnements d'éclairage. TWINSCAN XT 1250 D dispose d'un grand champ de plaquettes flexible et non superposé qui peut être personnalisé pour accueillir de grandes tailles de filière. Le système est capable de manipuler jusqu'à 15 plaquettes en même temps et peut fonctionner avec une gamme de substrats ; du silicium, du germanium, du silicium polycristallin aux couches épitaxiales. En outre, l'unité peut gérer une gamme de tailles de plaquettes ; de 5 pouces à 14 pouces de plaquettes. Twinscan XT 1250D est alimenté par une machine de contrôle avancée, qui fournit des fonctionnalités avancées et la pleine évolutivité de plusieurs microscopes, composants optomécaniques, moteurs et capteurs. Il est livré avec des outils logiciels avancés et des protocoles conçus pour faciliter une lithographie rapide et précise. Ses diagnostics intégrés, le contrôle proactif des processus (PPC) et l'alimentation sans vibrations facilitent le fonctionnement et l'entretien de la machine. L'outil ASML TWINSCAN XT 1250 D est soutenu par un ensemble complet de services pour assurer une bonne performance et la longévité de l'actif. Il s'agit notamment du démarrage et de la mise en service sur place, de l'entretien et du soutien des modèles, des pièces de rechange et de la formation. De plus, ASML fournit des garanties de performance garantissant que l'équipement répond à ses exigences de performance.