Occasion ASML Twinscan XT 1400 #293817836 à vendre en France
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ID: 293817836
Immersion lithography system
Numerical Aperture (NA): 0.93
Resolution: 220 nm
Throughput (WPH): 220-250.
L'ASML Twinscan XT 1400 est un pas de plaquette sophistiqué qui sert de composant critique dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, en particulier dans l'étape de photolithographie. ASML, un des principaux fournisseurs d'équipements de photolithographie pour l'industrie des semi-conducteurs, a développé Twinscan XT 1400 pour répondre à la demande croissante de résolution et de débit plus élevés dans la production de semi-conducteurs. Ce pas de plaquette de pointe intègre des caractéristiques technologiques avancées et des capacités pour permettre la production de dispositifs semi-conducteurs plus petits et plus complexes avec des caractéristiques de performance améliorées. Au cœur de l'ASML Twinscan XT 1400 se trouve son équipement avancé de lentilles de projection, conçu pour fournir des capacités d'imagerie haute résolution pour la fixation de structures semi-conductrices complexes sur des plaquettes de silicium. Le système utilise une conception optique sophistiquée, comprenant un agencement complexe de lentilles, de miroirs et d'autres composants optiques, pour assurer une imagerie précise et précise des motifs de photomasques sur la surface de la plaquette. L'ouverture numérique élevée (NA) de la lentille de projection permet à l'unité d'obtenir une résolution submicronique, permettant la production de dispositifs semi-conducteurs de pointe avec des caractéristiques de plus en plus petites. En plus de ses capacités d'imagerie haute résolution, Twinscan XT 1400 est équipé d'une gamme de fonctionnalités innovantes qui améliorent ses performances et sa productivité. Une caractéristique clé de la machine est sa technologie avancée d'alignement et de contrôle de superposition, qui assure l'alignement précis de plusieurs couches lithographiques pendant le processus de balisage. Cette capacité est essentielle pour atteindre les tolérances de recouvrement serrées requises pour les techniques multi-balises, telles que la lithographie à double balisage et l'immersion, couramment utilisées dans la fabrication avancée de semi-conducteurs. L'ASML Twinscan XT 1400 intègre également un outil d'éclairage de pointe qui permet de contrôler avec précision l'intensité lumineuse, la polarisation et la cohérence pendant le processus d'exposition. Cela permet à l'atout de produire des images uniformes et de haute qualité sur la surface de la plaquette, ce qui donne des motifs bien définis avec une grande fidélité et cohérence. Le modèle d'éclairage est également conçu pour minimiser la lumière parasite et d'autres sources d'aberrations optiques, assurant des performances d'imagerie optimales et une précision de transfert de motifs. En outre, Twinscan XT 1400 dispose d'un étage de plaquettes et de réticules à grande vitesse, qui permettent un échange rapide de plaquettes et de réticules, ainsi que des temps de balayage et d'exposition rapides. L'équipement est capable de traiter plusieurs plaquettes en un seul lot, augmentant le débit et la productivité dans les installations de fabrication de semi-conducteurs. Cette capacité de traitement à grande vitesse est essentielle pour répondre à la demande croissante de dispositifs semi-conducteurs, notamment dans des applications telles que les appareils mobiles, les centres de données et l'électronique automobile. En outre, l'ASML Twinscan XT 1400 est équipé de capacités avancées d'automatisation et de contrôle, qui permettent une intégration homogène avec d'autres équipements et systèmes de fabrication de semi-conducteurs. Le système peut être contrôlé à distance via une interface conviviale, permettant aux opérateurs de surveiller et d'ajuster les processus lithographiques en temps réel. De plus, l'unité dispose d'outils de diagnostic et de maintenance avancés qui permettent un entretien proactif et un dépannage, minimisant les temps d'arrêt et maximisant l'efficacité opérationnelle. Dans l'ensemble, le Twinscan XT 1400 représente un progrès significatif dans la technologie des gradins, offrant des performances d'imagerie, une productivité et une fiabilité inégalées pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à sa conception optique avancée, à ses capacités de contrôle d'alignement et de superposition, à sa machine d'éclairage, à ses étages rapides et à ses fonctions d'automatisation, l'outil est bien adapté pour répondre aux exigences exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs et stimuler l'innovation dans le développement de dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération.
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