Occasion ASML Twinscan XT 1400F #9143647 à vendre en France

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ID: 9143647
Taille de la plaquette: 12"
I-line wafer stepper, 12" ArF Exposure tool Exposure wafer: LP*1/WS*1/Chuck*2/WH*1/RS*1/RH*1/Laser*1 193nm scanner Photo module Equipment type: PS-ARF Missing parts: Spare assy, auto shutter  Spare assy, beam reverser  Power supply assembly, DC  Power supply, switching, 480V, 3 Phase in, 24V@125A  Spare, LAM 54,471, module assy, 193nm w/EIS, w/LF, AWR  (ARF,SAM)Spare, sam module, 193nm,w/EIS, SAM  Spare,line narrowing module,LNM ,45x  WS Type1,2,3 ss1 XY motor assy  Blower motor assy  ACC MK4 Clean air fan  SPM RS Encoder head top mnt Y1  (2) Spares, blower motor controllers, XL, 56-turn  Assy, resonant charger, XLA-100, 7 joule  (2) Commutators OC ( ArF) Spare.assy. ArF 45w laser. long life PA chamber Spare.assy. ArF 45w laser. long life MO chamber  WH SHB II Assy  MPCR (meas.pos.control rack)  Assy, CAN controller module, lower left optics  Power amp controller PPCA  WS Type 3+4 OXB coupl frame&clamps (XT1400)  WS Type 3+4 open X-beam assy  Spare assembly, MO web  Spare assembly, PA web  Spare, mechanical assy, ISS DOE 193P ID18 MP2 40-Y FO Aerial-P XT: 14X0 FO DOE 193P ID8 MP2 90-X FO DOE 193P ID7 MP2 90-Y FO DOE 193P ID5 MP4 30-45 FO Recipe creator light FO Exposure FO Integrated reticle library FO AUX Port, 12" FOUP/(25) wafers FO IRIS for Twinscan, 6" FO Reticle CIDRW hermos (RF) FO 24-Character barcode reader Twinscan Second laser paddle cymer ESI EX2600 Hybrid 2005 vintage.
ASML Twinscan XT-1400F est un pas de plaquette de premier plan utilisé pour modeler de minuscules caractéristiques sur des photomasques pour la fabrication de circuits intégrés. Le Twinscan est basé sur un mouvement de pas et de balayage unique qui utilise un rapport breveté de 1 à 1, assurant un mouvement rapide et uniforme de l'étage de la plaquette. Twinscan XT-1400F possède également une plus grande superficie de champ que les steppers concurrents, ce qui permet d'imprimer plus de fonctionnalités sur un seul substrat en une seule exposition. ASML Twinscan XT-1400F intègre la technologie High Resolution Scan Artem, permettant un débit supérieur et moins de faux bords. La conception sans vibrations permet le positionnement le plus précis, permettant d'imprimer des caractéristiques aussi petites que 5 nanomètres. Le Twinscan supporte une gamme de substrats incluant le silicium, le quartz, le Mylar et divers substrats multicouches. Twinscan XT-1400F dispose également d'une chambre multi-gaz de haute stabilité avec un échappement à chaud de gaz réactifs, offrant des temps de traitement optimaux et des microstructures finales uniformes. De plus, le système optique et polariseur permet au système d'obtenir un contrôle précis de la polarisation, un débit élevé et une qualité d'imagerie supérieure, tandis que le Low Mass Wafer Stage élimine le flou d'image des vibrations. ASML Twinscan XT-1400F prend en charge un large éventail de paramètres d'exposition et est capable de produire des images à haute résolution à des vitesses extrêmement rapides. En outre, le logiciel Digital MicroScanner permet une facilité de fonctionnement et une fonctionnalité précise du système. Enfin, l'architecture de scanner contraire de Twinscan XT-1400F a pour résultat le faible niveau de contamination de particule sur le photomasque et substrate. Dans l'ensemble, ASML Twinscan XT-1400F est un pas de plaquette de pointe qui offre une combinaison unique de résolution d'image supérieure, un excellent débit, un rendement énergétique et une contamination minimale des particules. Il est idéal pour créer des caractéristiques microscopiques sur les circuits intégrés, et sa gamme de technologies riches en fonctionnalités le rend bien adapté à une gamme de substrats.
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