Occasion ASML Twinscan XT 1400F #9143647 à vendre en France
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Vendu
ID: 9143647
Taille de la plaquette: 12"
I-line wafer stepper, 12"
ArF Exposure tool
Exposure wafer: LP*1/WS*1/Chuck*2/WH*1/RS*1/RH*1/Laser*1
193nm scanner
Photo module
Equipment type: PS-ARF
Missing parts:
Spare assy, auto shutter
Spare assy, beam reverser
Power supply assembly, DC
Power supply, switching, 480V, 3 Phase in, 24V@125A
Spare, LAM 54,471, module assy, 193nm w/EIS, w/LF, AWR
(ARF,SAM)Spare, sam module, 193nm,w/EIS, SAM
Spare,line narrowing module,LNM ,45x
WS Type1,2,3 ss1 XY motor assy
Blower motor assy
ACC MK4 Clean air fan
SPM RS Encoder head top mnt Y1
(2) Spares, blower motor controllers, XL, 56-turn
Assy, resonant charger, XLA-100, 7 joule
(2) Commutators
OC ( ArF)
Spare.assy. ArF 45w laser. long life PA chamber
Spare.assy. ArF 45w laser. long life MO chamber
WH SHB II Assy
MPCR (meas.pos.control rack)
Assy, CAN controller module, lower left optics
Power amp controller PPCA
WS Type 3+4 OXB coupl frame&clamps (XT1400)
WS Type 3+4 open X-beam assy
Spare assembly, MO web
Spare assembly, PA web
Spare, mechanical assy, ISS
DOE 193P ID18 MP2 40-Y FO
Aerial-P XT: 14X0 FO
DOE 193P ID8 MP2 90-X FO
DOE 193P ID7 MP2 90-Y FO
DOE 193P ID5 MP4 30-45 FO
Recipe creator light FO
Exposure FO
Integrated reticle library FO
AUX Port, 12" FOUP/(25) wafers FO
IRIS for Twinscan, 6" FO
Reticle CIDRW hermos (RF) FO
24-Character barcode reader Twinscan
Second laser paddle cymer
ESI EX2600 Hybrid
2005 vintage.
ASML Twinscan XT-1400F est un pas de plaquette de premier plan utilisé pour modeler de minuscules caractéristiques sur des photomasques pour la fabrication de circuits intégrés. Le Twinscan est basé sur un mouvement de pas et de balayage unique qui utilise un rapport breveté de 1 à 1, assurant un mouvement rapide et uniforme de l'étage de la plaquette. Twinscan XT-1400F possède également une plus grande superficie de champ que les steppers concurrents, ce qui permet d'imprimer plus de fonctionnalités sur un seul substrat en une seule exposition. ASML Twinscan XT-1400F intègre la technologie High Resolution Scan Artem, permettant un débit supérieur et moins de faux bords. La conception sans vibrations permet le positionnement le plus précis, permettant d'imprimer des caractéristiques aussi petites que 5 nanomètres. Le Twinscan supporte une gamme de substrats incluant le silicium, le quartz, le Mylar et divers substrats multicouches. Twinscan XT-1400F dispose également d'une chambre multi-gaz de haute stabilité avec un échappement à chaud de gaz réactifs, offrant des temps de traitement optimaux et des microstructures finales uniformes. De plus, le système optique et polariseur permet au système d'obtenir un contrôle précis de la polarisation, un débit élevé et une qualité d'imagerie supérieure, tandis que le Low Mass Wafer Stage élimine le flou d'image des vibrations. ASML Twinscan XT-1400F prend en charge un large éventail de paramètres d'exposition et est capable de produire des images à haute résolution à des vitesses extrêmement rapides. En outre, le logiciel Digital MicroScanner permet une facilité de fonctionnement et une fonctionnalité précise du système. Enfin, l'architecture de scanner contraire de Twinscan XT-1400F a pour résultat le faible niveau de contamination de particule sur le photomasque et substrate. Dans l'ensemble, ASML Twinscan XT-1400F est un pas de plaquette de pointe qui offre une combinaison unique de résolution d'image supérieure, un excellent débit, un rendement énergétique et une contamination minimale des particules. Il est idéal pour créer des caractéristiques microscopiques sur les circuits intégrés, et sa gamme de technologies riches en fonctionnalités le rend bien adapté à une gamme de substrats.
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