Occasion ASML Twinscan XT 1470 #293817832 à vendre en France
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ID: 293817832
Lithography system
Numerical Aperture (NA): 0.70-0.93
DCO: ≤4.5
Resolution: 57 nm
Throughput (WPH): 300.
L'ASML Twinscan XT 1470 est un pas de plaquette de pointe conçu pour la production à haut volume de dispositifs semi-conducteurs avancés. Cet outil joue un rôle critique dans le processus de lithographie, qui est une étape clé dans la fabrication de semi-conducteurs qui définit le motif des caractéristiques des circuits intégrés sur une plaquette de silicium. La XT 1470 fait partie de la dernière série d'ASML Twinscan, connue pour sa précision, son débit et sa résolution qui permettent la production de technologies de pointe de semi-conducteurs. Une des caractéristiques clés de la XT 1470 est sa capacité à réaliser une lithographie ultraviolette extrême (EUV), qui permet la fabrication de dispositifs semi-conducteurs plus petits et plus complexes. La lithographie EUV utilise la lumière avec une longueur d'onde d'environ 13,5 nanomètres, sensiblement inférieure à la longueur d'onde utilisée dans les systèmes traditionnels de lithographie optique. Cela permet à la XT 1470 d'imprimer des caractéristiques de dimensions inférieures à 10 nanomètres, repoussant les limites de la technologie actuelle des semi-conducteurs. Le XT 1470 est équipé d'un système de lentille sophistiqué spécialement conçu pour focaliser et façonner la lumière EUV sur la plaquette de silicium avec une extrême précision. Ce système de lentilles comprend plusieurs miroirs et composants optiques qui travaillent ensemble pour s'assurer que la lumière est projetée sur la plaquette avec un minimum de distorsion et d'aberration. Ce niveau de précision est crucial pour la réalisation de dispositifs semi-conducteurs avec des rendements élevés et des performances optimales. En plus de son système d'objectif avancé, le XT 1470 est équipé d'un étage de plaquette de haute précision qui permet un positionnement et un déplacement précis de la plaquette de silicium pendant le processus de lithographie. Cette étape assure l'impression des motifs dans le bon emplacement et l'alignement sur la plaquette, contribuant à la qualité globale et à la cohérence des dispositifs semi-conducteurs en cours de fabrication. Le XT 1470 dispose également de systèmes d'automatisation et de contrôle avancés qui permettent une intégration transparente avec d'autres outils dans l'installation de fabrication de semi-conducteurs. Cette automatisation permet une production à haut débit, une réduction des temps de cycle et une augmentation de la productivité globale. L'outil est également équipé de capacités de surveillance et de diagnostic avancées qui aident les utilisateurs à identifier et résoudre les problèmes rapidement, minimisant les temps d'arrêt et les pertes de production. Dans l'ensemble, Twinscan XT 1470 est un pas de tranche de pointe qui fournit aux fabricants de semi-conducteurs les capacités dont ils ont besoin pour produire la technologie de semi-conducteur la plus avancée. Avec ses capacités de lithographie EUV, son optique de haute précision et ses fonctionnalités d'automatisation avancées, le XT 1470 est à la pointe de la technologie de lithographie des semi-conducteurs et joue un rôle moteur dans l'innovation dans l'industrie des semi-conducteurs.
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