Occasion ASML Twinscan XT 1900 #293817829 à vendre en France

ASML Twinscan XT 1900
ID: 293817829
Lithography system Numerical Aperture (NA): 1.35 DCO:  ≤4.6 Resolution: 36.5 nm Throughput (WPH): 131.
L'ASML Twinscan XT 1900 est un pas de tranche de pointe qui représente une avancée significative dans le domaine de la lithographie des semi-conducteurs. Développé par ASML, un fabricant leader de matériel de photolithographie, Twinscan XT 1900 est conçu pour répondre aux exigences exigeantes des procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs, y compris ceux utilisés dans la production de circuits intégrés (IC) avec des caractéristiques jusqu'à 7 nanomètres et au-delà. Au cœur de l'ASML Twinscan XT 1900 se trouve son équipement de projection avancé, capable d'atteindre une résolution et une fidélité d'imagerie exceptionnelles. Le système est doté d'une conception catadioptrique sophistiquée, intégrant des éléments optiques réfractifs et réfléchissants pour minimiser les aberrations et les distorsions qui peuvent dégrader la qualité de l'image. Cette conception permet à Twinscan XT 1900 d'atteindre des valeurs élevées d'ouverture numérique (NA), lui permettant de résoudre des caractéristiques fines sur la plaquette avec une précision exceptionnelle. L'une des technologies clés de l'ASML Twinscan XT 1900 est son unité d'éclairage avancée, qui joue un rôle critique dans la mise en forme de la lumière utilisée pour exposer la résine photosensible sur la plaquette. La machine dispose de modes d'éclairage programmables, y compris diverses formes d'éclairage hors axe, qui peuvent être optimisés pour différentes exigences de balisage. Cela permet à Twinscan XT 1900 d'obtenir des performances d'imagerie supérieures sur une large gamme de géométries de motifs et de pas. En plus de son outil d'optique et d'éclairage avancé, l'ASML Twinscan XT 1900 est équipé d'un étage de plaquette très stable et précis. Cette étape est capable de déplacer la plaquette avec une précision de sous-nanomètre, permettant à l'actif de positionner avec précision la plaquette sous la lentille de projection pendant le processus d'exposition. L'étage de la plaquette comporte également des mécanismes de compensation dynamiques pour minimiser les vibrations et d'autres sources d'erreur, garantissant que le processus d'exposition est effectué avec le plus haut niveau de précision. Twinscan XT 1900 est également conçu pour supporter de multiples techniques de fixation, telles que la lithographie par immersion et la lithographie ultraviolette extrême (EUV). Ces techniques permettent aux fabricants de semi-conducteurs d'atteindre des tailles de caractéristiques encore plus fines et des niveaux d'intégration plus élevés dans leurs conceptions IC. Le modèle est compatible avec une large gamme de matériaux et de procédés photorésistants, offrant aux fabricants la flexibilité nécessaire pour s'adapter à l'évolution des exigences technologiques. En termes de débit et de productivité, l'ASML Twinscan XT 1900 est conçu pour des environnements de fabrication à haut volume. L'équipement dispose de capacités d'automatisation avancées, y compris des systèmes de manutention des plaquettes et des commandes logicielles, qui aident à rationaliser le processus de lithographie et à minimiser les temps d'arrêt. Le système est également conçu pour la fiabilité et la facilité d'entretien, avec des composants robustes et des caractéristiques diagnostiques qui permettent un dépannage et un service rapides. Dans l'ensemble, le Twinscan XT 1900 représente une solution de pointe pour la lithographie semi-conductrice, offrant une résolution, une précision et une flexibilité inégalées pour la production d'IC de pointe. Sa combinaison de technologies avancées d'optique, d'éclairage et d'automatisation en fait un outil polyvalent et puissant pour les fabricants de semi-conducteurs à la pointe de l'innovation technologique.
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