Occasion ASML XT 1250B #9293432 à vendre en France
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ID: 9293432
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
ArF Scanner, 12"
SECS, GEM
FOUP
ASML Reticle handler
ASML Wafer handler
Operating system: OIU Unix
CYMER XLA-165 Laser
Main distribution cabinet
(2) Electro cabinets
Exhaust cabinet
Lens circuit water cabinet
Motor circuit water cabinet
Air control cabinet
Purge hood blower
2005 vintage.
ASML XT 1250B est un pas de plaquette hautement spécialisé, conçu pour la haute performance, l'alignement de précision des semi-conducteurs et d'autres circuits intégrés pour la technologie sub-micron. Ce pas de 10 zones permet d'exiger la précision et la vitesse de production des plaquettes jusqu'à 12 pouces de diamètre. Il dispose d'une technique brevetée de balayage « in-plane » qui permet à l'équipement de balayer rapidement et de délivrer des plaquettes avec des surfaces extrêmement uniformes et lisses. Le stepper dispose également d'un système avancé d'alignement 5 axes qui permet un positionnement et un suivi précis pendant la production. ASML XT:1250B utilise une tête de balayage à haute résolution qui fournit une résolution de 6 microns et une longueur d'onde de 254 nm pour la détection topographique pendant le balayage. L'optique haute résolution et la commande du moteur offrent un mouvement de positionnement très lisse, ce qui augmente à la fois la précision et la vitesse de production. La combinaison de l'optique et du scanner haute résolution permet une procédure d'inspection laser au niveau de la plaquette pendant la production. L'unité est alimentée par un processeur Intel Pentium 1,4 GHz puissant mais efficace, et fonctionne sur une machine d'exploitation Windows 98 32 bits. L'outil permet de connecter jusqu'à quatre PC, ce qui le rend facilement extensible et capable d'effectuer de très gros travaux de production. XT 1250B offre également une capacité unique d'automatiser et de contrôler la production avec un atout d'automatisation intégré. Le modèle d'automatisation permet l'analyse des données, le contrôle des recettes, ainsi que l'alignement des caméras et des scanners. L'équipement d'automatisation peut être amélioré pour offrir plus de flexibilité et d'autres fonctionnalités d'automatisation. XT:1250B est un pas de plaquette haut de gamme qui assure une production et une précision à grande vitesse. Bien que le coût initial puisse être élevé, les entreprises qui ont besoin d'une grande précision dans la production de semi-conducteurs et de sous-microns peuvent économiser significativement à long terme, grâce à son fonctionnement rapide et ses capacités d'automatisation.
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