Occasion ASML XT 1250D #293623548 à vendre en France

Fabricant
ASML
Modèle
XT 1250D
ID: 293623548
ArF Scanner.
ASML XT 1250D est un équipement de balayage complet qui est utilisé pour la lithographie à haut volume de plaquettes semi-conductrices. Il est basé sur l'architecture de la série XT 1200 et offre une gamme d'applications pour répondre aux besoins de lithographie de divers clients. La machine est capable de produire des motifs haute densité avec un contrôle avancé de la surexposition et de la surexposition. Il est conçu pour fournir un débit élevé, un faible coût de possession et d'excellentes performances de débit. XT 1250D dispose d'un système optique de pointe doté d'une ouverture numérique élevée, offrant une résolution et une qualité d'image supérieures. Il accueille trois types de photorésistes pour les expositions simples, doubles et triples. Il dispose également d'une unité de manutention avancée de plaquettes qui a intégré des fonctions de sécurité et de tolérance aux pannes. Le stepper est conçu pour maintenir une haute intégrité mécanique et la stabilité, et il est équipé de systèmes de diagnostic et de contrôle conviviaux. La machine dispose également d'un étage avancé et d'une machine de contrôle d'imagerie qui permet un haut débit, un fonctionnement stable et une commutation rapide du champ de vision. L'optique lithographique offre des performances améliorées grâce à l'alignement laser avancé et aux fonctionnalités de maintenance. L'outil est hautement automatisé et peut effectuer des expositions simples à multi-champs avec facilité. Le contrôle de trajectoire de l'étage est basé sur un asservissement et un alignement laser de haute précision, permettant un alignement rapide et précis. Le logiciel embarqué et l'architecture d'ASML XT 1250D sont programmés pour assurer une haute performance, reproductibilité et uniformité. Il offre une gestion fiable des données et un accès facile aux paramètres de processus pour une reproductibilité plus longue. Le matériel extérieur peut également être intégré pour améliorer la stabilité environnementale et thermique. La machine offre également une puissance de sortie évolutive pour un contrôle de dose optimal. Dans l'ensemble, XT 1250D est un atout puissant et de haute précision qui peut gérer une gamme de processus photolithographiques avec un contrôle optique fin. Son optique avancée peut gérer de larges plages d'exposition et le logiciel embarqué fournit un fonctionnement convivial, un débit rapide, et des motifs fiables.
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