Occasion ASML XT 1250D #293624486 à vendre en France

ASML XT 1250D
Fabricant
ASML
Modèle
XT 1250D
ID: 293624486
ArF Scanner.
ASML XT 1250D est un pas de plaquette conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un équipement 4 pistes capable de traitement ultra-fin des fonctionnalités. Le système utilise une source laser à reflex 3, capable de fournir une exposition de 250 nm à 1700 nm, et une tête d'imagerie intégrée à haute sensibilité avec 405 nm de longueur d'onde. La matrice de 200 mm x 300 mm de l'unité peut traiter une image à haute résolution avec une taille de pixel aussi faible que 0,2 micromètre, ce qui permet la fixation de sous-microns des composants semi-conducteurs avancés. La machine comprend également des caractéristiques de conception avancées telles que la commande intelligente de recouvrement, l'adaptation des motifs et l'adaptation des champs, pour assurer le positionnement précis de la tête d'imagerie sur la plaquette de semi-conducteur. De plus, un outil de contrôle de piste et de focalisation permet de placer et de focaliser avec précision le faisceau d'imagerie, ce qui est essentiel pour l'impression correcte des géométries les plus fines. XT 1250D utilise un imageur thermique de pointe pour améliorer la résolution de contraste, avec une température maximale de fonctionnement allant jusqu'à 370 ° C De plus, l'actif dispose de diverses caractéristiques de sécurité, dont une micro-dose, un moniteur à courant élevé, une surveillance des pannes en temps réel et un modèle de verrouillage de sécurité à 5 niveaux. En outre, l'équipement dispose d'un étage de haute précision avec des niveaux de répétabilité et de reproductibilité. Un microscope optique d'alignement est utilisé pour la précision de positionnement et la vérification, aidant à s'assurer que la plaquette est carrée et centrée sur la scène. En outre, le système peut être configuré avec jusqu'à 3 robots d'automatisation, permettant un débit de processus plus rapide et une meilleure utilisation des ressources de la machine. Enfin, avec un besoin croissant de performance et de fiabilité précises, ASML XT 1250D répond à ces exigences grâce à sa liaison de communication exclusive, qui a été optimisée pour assurer la surveillance des unités en temps réel. La machine peut également être intégrée à un réseau interne, permettant l'analyse des données et la surveillance à distance des processus. Dans l'ensemble, XT 1250D offre un environnement très productif et de haute précision pour la production de microfabrication et de dispositifs semi-conducteurs.
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