Occasion ASML XT 1400E #9289671 à vendre en France
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ID: 9289671
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Lithography system, 12"
SMIF / FOUP
ARF Scanner
Projection lens:
RMS Z5-Z37 : 2.65 nm
RMS spherical: 0.76 nm
RMS coma: 1.92 nm
RMS astigmatism: 0.45 nm
RMS 3-foil: 0.71 nm
Straylight at ref. blocksize: 0.75%
Illumination:
Integrated slit uniformity setting: 0.9%
Illumination intensity setting: 1575 mW/cm2
Dose repeatibility
Dose accuracy setting
Pupil verification
Ellipticity setting: 0.321 mean
Missing parts:
BMU
Y1 Shuttle hook motor hose connect parts
(2) PSU Workstation
R-chuck
PMB 5
MPD Box
SHB E-Rack
SHB Component box
WH Robot
PPD
DIFF Sensor
(2) CCM
Zero laser box
MCCB
(2) PAAC
CPM Board load
2006 vintage.
ASML XT 1400E est un pas de plaquette de pointe utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la fabrication lithographique de circuits intégrés. XT 1400E utilise des technologies de pointe telles qu'un balayage constant non-SA (NASC) à six axes pour améliorer la précision et la vitesse. Cette machine a une ouverture numérique de 0,55 et une taille de champ jusqu'à 200mm. Il est capable de temps d'exposition aussi court que 10 millisecondes et peut effectuer la répétabilité dans 5nm. L'ASML XT 1400E est spécialement conçu pour résister à l'image et à l'exposition sur une plaquette afin de créer des circuits et des fonctionnalités en ligne fine tels que des interconnexions et des tranchées. Il est également capable d'aligner automatiquement des matrices d'exposition multiples et de superposer plus de 90 couches de motifs de dessins. Cela réduit le besoin de recettes lithographiques complexes. XT 1400E utilise un équipement d'éclairage avancé pour réduire la rugosité superficielle des résultats d'exposition. Ceci est rendu possible grâce à l'utilisation d'un laser haute impulsion, et d'un système d'éclairage hors axe 'Super High NA' (SHNA). Cela permet un contrôle dynamique de l'intensité d'exposition et un alignement dynamique pour la précision de l'imagerie et de l'exposition. ASML XT 1400E en possède plusieurs en matière de sécurité. Son interférence laser interne aux endroits d'exposition réduit le risque d'exposition laser et une unité de détection de collision vérifie le mouvement inattendu des éléments d'exposition. En outre, XT 1400E dispose d'une machine intégrée de contrôle de l'environnement pour maintenir une température de travail optimale, l'humidité et la qualité de l'air pendant le fonctionnement. En conclusion, ASML XT 1400E est un pas de plaquette avancé et très sophistiqué avec la capacité de résister à l'image et à l'exposition sur une plaquette pour créer des circuits, des fonctionnalités et des interconnexions en ligne fine. Ses caractéristiques de sécurité intégrées, son outil d'éclairage avancé et ses moyens de contrôle environnemental garantissent un fonctionnement continu et précis à maintes reprises.
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