Occasion ASML XT 1400E #9289674 à vendre en France
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ID: 9289674
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Lithography system, 12"
In-line
SMIF
Automation online component: SECE
Reticle size, 6"
Wafer type: Notch
Inline flow: Right
CYMER XLA-165 Laser
LED
WL and RL:
WL: Type 3
RL Library: Left
PPD Type: PPD2
Lens and Illumination:
BMU Type: Standard
Appeture INA:
Conv: 0.95
Annual: σAnn.(0.950/0.633)
Lens: PL Purge
Stage:
SCAN Speed: 500 mm/sec
Chuck: Pin chuck
Pin chuck: TIS Align.
2005 vintage.
ASML XT 1400E est un pas de plaquette, qui est un type de machine de lithographie utilisée dans l'industrie de fabrication de semi-conducteurs pour transférer des motifs sur une plaquette de semi-conducteur dans le processus de fabrication. C'est un équipement de pointe conçu pour atteindre un haut degré de débit et de précision, tout en réalisant une longue durée de vie du produit. XT 1400E utilise la lithographie ultraviolette extrême (EUV) pour modeler des couches de photorésist à la surface de la plaquette. Ce procédé utilise un faisceau laser à pulsation rapide pour créer un motif de lumière et d'ombre sur la plaquette pour créer des voies de circuit. Il utilise également un système d'actionnement piézoélectrique pour déplacer rapidement et avec précision la plaquette par rapport au motif de lumière. L'ASML XT 1400E est doté d'une architecture ouverte innovante, permettant aux utilisateurs de personnaliser rapidement l'unité de lithographie en fonction de leurs besoins spécifiques. Par exemple, il peut être configuré pour supporter plusieurs têtes de pas, lui permettant de répondre à de multiples besoins en lithographie. Il comprend également des capacités intégrées pour le contrôle des processus, le diagnostic des machines et la personnalisation des recettes. XT 1400E est très fiable, avec des antécédents éprouvés pour fournir un débit élevé et une précision répétable, même dans des conditions difficiles. Il possède des capacités techniques robustes et répond aux exigences strictes en matière de débit, de précision des outils et de contrôle de précision dans l'industrie de la lithographie semi-conductrice. L'actif peut être installé sur un socle ou être intégré dans un modèle de cluster. ASML XT 1400E est équipé d'une suite d'outils de diagnostic, de maintenance prédictive et de surveillance de l'état, qui permettent de surveiller la machine en temps réel. Cela permet également aux utilisateurs de dépanner les problèmes rapidement et précisément, ainsi que de repérer les risques potentiels et de les corriger avant qu'ils n'affectent la production. L'équipement est conçu pour être facile à utiliser et à entretenir, avec des fonctionnalités telles que des automates, des routines de maintenance automatisées et des interfaces utilisateur intuitives. XT 1400E est un outil puissant et fiable qui peut aider à optimiser les processus de fabrication des semi-conducteurs et améliorer la qualité des produits.
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