Occasion ASML XT 1400E #9298749 à vendre en France

ASML XT 1400E
Fabricant
ASML
Modèle
XT 1400E
ID: 9298749
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Lithography system, 12" 2005 vintage.
ASML XT 1400E wafer stepper est une machine de lithographie conçue pour des applications de photolithographie. Il s'agit d'un équipement plein champ, pas à pas et balayage qui utilise des optiques d'exposition à ouverture numérique élevée (NA) pour générer des images de la plaquette qui sont capturées par son système d'imagerie avant le traitement. La machine est adaptée à l'imagerie dans une large gamme d'applications de traitement de semi-conducteurs telles que la photolithographie et la production de photomasques. La machine de lithographie XT 1400E offre un débit allant jusqu'à 18 plaquettes par heure et une taille de champ allant jusqu'à 13 mm carrés, ce qui la rend idéale pour les applications de production de volume moyen et grand. Il est conçu pour traiter jusqu'à 675nm de résolution et est capable de développer des couches extrêmement minces et précises grâce à son optique haute résolution. L'unité peut être utilisée pour traiter des plaquettes de 12 pouces avec une précision allant jusqu'à 1.4um. ASML XT 1400E est équipé d'un contrôleur scanner de pointe capable de fournir un contrôle avancé de l'exposition et de l'alignement. La machine est équipée d'un certain nombre d'outils logiciels de pilotage qui peuvent être utilisés pour ajuster et affiner les paramètres d'alignement, et pour optimiser les paramètres d'exposition pour différentes couches. Il est également capable de contrôler simultanément plusieurs scanners pour la production de grandes plaquettes. XT 1400E est équipé d'un outil de commande de mouvement conçu pour fournir un mouvement d'étage haute résolution et haute précision. L'actif utilise un modèle de contrôle PID en boucle fermée pour garantir la précision et la répétabilité. Il dispose également de multiples capacités d'entrée et de sortie qui permettent la télécommande de l'équipement. ASML XT 1400E comprend une unité de traitement chimique leader dans l'industrie qui est conçue pour fournir des dosages précis de divers produits chimiques à des vitesses de débit élevées. L'unité supporte à la fois les processus humides et secs, ainsi que la gravure sélective et la pulvérisation. Cette unité de traitement chimique a également la capacité de lire la variation d'épaisseur couche à couche, et d'ajuster le volume et le placement des gouttelettes chimiques. Dans l'ensemble, XT 1400E est un pas industriel puissant et fiable qui est capable de fournir des résultats précis d'imagerie et de traitement chimique. Ses vitesses de débit élevées, combinées à sa conception flexible et à son large éventail de capacités d'exposition et de traitement, en font un choix idéal pour la photolithographie et d'autres procédés semi-conducteurs.
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