Occasion ASML XT 1700 #293817719 à vendre en France

ASML XT 1700
Fabricant
ASML
Modèle
XT 1700
ID: 293817719
Immersion ArF scanner.
ASML XT 1700 wafer stepper est un équipement de lithographie de pointe développé pour la fabrication de wafer-level d'appareils haut de gamme qui utilise une combinaison de technologies d'imagerie optique à jour, d'étages d'inclinaison multi-axes et de systèmes de commande avancés pour une tolérance et une précision maximales dans la production d'appareils. Le sytem offre une plate-forme d'imagerie puissante pour la fabrication avancée de photomasques et de réticules, avec son système d'exposition de 800nm capable d'une surface d'exposition efficace maximale de 550 x 600 mm. Les photomasques et les réticules sont placés sur une scène avec une précision micrométrique, puis déplacés à travers l'unité pour former un motif complet sur une plaque tournante. Pour une imagerie précise et précise, ASML XT:1700 utilise un trio de caméras CCD haute résolution pour l'enregistrement de motifs et la mise au point dynamique. Les caméras se déplacent autour de la station d'imagerie sur des inclinaisons à double axe personnalisées pour optimiser la géométrie de l'imagerie. Ceci permet d'éliminer les aberrations et d'assurer une interférence de fond nulle, assurant la précision du niveau des particules même pour les plus petites géométries. La traduction des plaquettes de haute précision est activée grâce à la technologie ASML Hybrid Tilt Stage. Avec une vitesse d'étape allant jusqu'à 15 000 um/s, les servocommandes de stabilité positionnelle en temps réel permettent un suivi précis du profil, même pour les solutions de lithographie les plus surchargées. La machine de commande au cœur de l'outil fournit un contrôle intégré de tous les composants intégrés pour l'exposition programmable et le contrôle des processus. L'interface utilisateur de l'actif utilise une liste tabulaire intuitive de tous les paramètres pertinents, permettant des changements de paramètres rapides et faciles. Le support de différents réseaux de portes programmables sur le terrain (FPGAs) assure une communication à faible latence entre tous les processus pour une production optimale à haut rendement. Dans l'ensemble, XT 1700 wafer stepper est un modèle de lithographie avancée pour les tâches de production d'appareils les plus exigeants. Sa combinaison de technologie d'imagerie de pointe et de contrôle de précision fournit une production fiable et répétable de caractéristiques micro-échelle avec les meilleurs rendements.
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