Occasion ASML XT 1700FI #293606031 à vendre en France

ASML XT 1700FI
Fabricant
ASML
Modèle
XT 1700FI
ID: 293606031
Immersion scanner.
ASML XT 1700FI est un pas de plaquette utilisé dans les applications de photolithographie. C'est une machine très précise et de haute précision avec un équipement d'imagerie de forme variable et un système de reconnaissance fiduciaire de position de filière. Cette unité minimise la dispersion du champ d'exposition lors du balayage. ASML XT1700FI est conçu pour produire une profondeur de champ constante et répétable qui permet la stabilité du processus, minimise la génération de particules et résout de petites caractéristiques critiques. XT:1700FI est construit avec une machine optique de haute puissance et de précision qui permet une lithographie haute densité et fine largeur de ligne. Cet outil se compose de deux composants : un actif optique à deux anneaux et un modèle de mise en forme de faisceau. L'équipement optique à deux anneaux est un système à symétrie optique qui utilise des courbures constantes pour réduire la distorsion du front d'onde. L'unité de mise en forme du faisceau est chargée de contrôler la forme du champ d'exposition en réduisant les points parasites et indésirables hors des axes grâce à des techniques d'espacement asphérique et axial paramétriques. XT1700FI dispose également d'une machine automatique d'alignement Zeemann qui aide à réduire la distorsion réticulaire et les désalignements. Cet outil est conçu pour corriger la déformation de l'image en résolution nanométrique lors du transfert de motif. ASML XT:1700FI est équipé d'un actif d'aplatissement de champ composé d'un axicon réglable, d'un ralentisseur réglable et d'un modèle optique intra-focale réglable, qui contribue à éliminer la courbure et la distorsion de champ pour produire des expositions haute définition et haute précision. XT 1700FI est équipé d'un équipement de contrôle robuste pour garantir la performance et la précision du système. Cette unité de contrôle est conçue avec des interfaces graphiques conviviales et intuitives et des algorithmes avancés d'analyse de données pour fournir des résultats en temps réel. Les performances de la XT 1700 FI peuvent encore être augmentées grâce à l'ajout de fonctionnalités facultatives, dont une machine d'isolation des vibrations, un masque d'obturation arrière et un aligneur de plaquettes, qui sont tous conçus pour minimiser les vibrations pendant les cycles d'exposition et améliorer la précision d'enregistrement des détails de plaquettes. Enfin, l'ASML XT 1700 FI est extrêmement fiable et conçu pour fonctionner à haute performance constante. La machine est conçue avec des systèmes de sécurité étendus et des diagnostics de performance qui surveillent et contrôlent les performances de l'outil et réduisent les temps d'arrêt.
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