Occasion ASML XT 1700FI #293633102 à vendre en France

ASML XT 1700FI est un pas de plaquette ultraviolet haut de gamme (UV) à base d'optique utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est un pas de réduction éclairé réductivement qui utilise la double exposition pour produire des images aériennes efficaces. Le stepper utilise un stade de multi-exposition de 0,248/0,335/0,5nm avec un temps d'exposition aussi court que 4,2 s. Il peut fournir une rugosité de bord de ligne sous 4nm, et des mouvements d'étage avec une précision de niveau nanométrique et une taille d'étape résolue dans la gamme de sous-microns. ASML XT1700FI utilise la technologie la plus récente dans son équipement d'imagerie, avec un illuminateur bi-source très avancé qui fournit un contrôle optimisé de l'intensité lumineuse. Les sources à double éclairage permettent de couvrir un large éventail de conceptions dans la large fenêtre de processus, de la lithographie de contact à double exposition à la double exposition orthogonale paires. Il fournit un système flexible pour l'optimisation des processus et l'exécution de conception robuste. Le pas de plaquette a une haute résolution optique de 4µm, un codeur de 5 robinets et une précision RMS de 28nm. Il prend en charge le compte de tir et le stockage de l'unité de journalisation jusqu'à 5 Go. Il a une précision d'alignement de pointe et un point central d'outil réglable pour une capacité de recouvrement avancée. Ses fonctionnalités programmables avancées permettent également une protection rapide en position, la prévention des dommages aux points chauds et la réduction de la défectivité. La machine de caméra avancée de XT:1700FI fournit jusqu'à 512x512 pixel résolution de capteur avec un foyer dynamique de 0,3µm-3µm. Ses fonctionnalités sophistiquées de traitement d'image permettent la focalisation en temps réel, l'optimisation de la dose et des incohérences d'imagerie. La capacité d'exposition quadruple supportée par le stepper ajoute de la netteté aux photomasques à la plus haute résolution. ASML XT 1700 FI permet également la surveillance des processus, l'inspection des plaquettes et l'enregistrement des données avec son interface de communication intégrée et sa capacité de diagnostic à distance élargie. Cela permet aux opérateurs de diagnostiquer, d'observer et de contrôler les processus de production à distance. Le stepper est également équipé d'un outil d'exploitation à distance « Ready-for -Link » pour assurer un meilleur contrôle du débit et du processus. ASML XT:1700FI a été construit avec une conception modulaire, ce qui rend l'étape très fiable, sans entretien et rentable, avec la possibilité d'être mis à niveau et étendu. De plus, il s'agit d'un appareil à faible bruit et à faible vibration et compatible avec une large gamme d'équipements de manutention automatisés et robotiques. C'est une machine puissante, capable de fournir des performances élevées dans une large gamme d'applications de semi-conducteurs.