Occasion ASML XT 1700FI #9379826 à vendre en France
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ID: 9379826
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
ArF Scanner, 12"
Main body
Wafer stage
LMA Module
AOM Laser
EGPS
(5) Cover panels
Excimer laser
Charcoal filter
Spare parts
Cabinet:
ACC
MDC
ELEC
WICC
WISC
RSRC
MCWC
WSRC
2006 vintage.
ASML XT 1700FI est un pas de plaquette conçu pour le traitement des dispositifs semi-conducteurs. Il est fabriqué par Applied Materials et est l'outil leader dans l'industrie pour la production à haut volume de dispositifs avancés. L'équipement est conçu pour fournir la plus haute lithographie et précision de recouvrement disponible. ASML XT1700FI est capable de traiter des plaquettes de 2 à 8 pouces et a une résolution nominale de 438nm. Le système offre une imagerie de haute qualité ainsi qu'une excellente profondeur de contrôle de la focale. L'unité intègre un balayage lithographique plein champ et peut facilement et précisément exposer la plaquette entière. Le wafer stepper intègre une machine laser à scanner unique qui permet des vitesses d'exposition plus élevées. Il dispose également d'une paire de lentilles d'outils de balayage laser de 4,5 pouces qui permettent plusieurs modes d'exposition. Le sous-système d'exposition à la lithographie sans masque du faisceau d'électrons de l'actif contribue à réduire les exigences en matière de masquage et d'inspection. La lithographie sans masquage du faisceau d'électrons peut également réduire les risques de dommages lithographiques. XT:1700FI est entièrement compatible avec les logiciels les plus avancés de l'industrie, y compris ASML Digital Micro Imaging Software pour l'alignement et la superposition. Il est également compatible avec la version la plus récente du Micron Tracker. Le modèle est construit avec une plate-forme industrielle avancée PC qui offre des niveaux élevés de fiabilité et de stabilité. Le XT 1700 FI a une orientation à 5 axes pour assurer un suivi et un balayage précis de l'ensemble de la plaquette. L'équipement comprend également un illuminateur programmable et un large éventail d'accessoires tels que des stigmates, des diffuseurs et des optiques de champ sombre. XT1700FI dispose également d'un système de micro-focalisation haute performance qui garantit que la plaquette est correctement exposée sur toute la surface. Le micro-objectif utilisé pour contrôler la résolution d'exposition fait également partie de l'unité. Le logiciel de contrôle avancé de la machine aide à réduire les erreurs de l'opérateur tout en augmentant la productivité et le débit. Dans l'ensemble, ASML XT:1700FI est un pas de plaquette leader dans l'industrie capable de produire d'excellents résultats d'imagerie, tout en fournissant des performances fiables et stables. Cet outil est idéal pour le traitement avancé des appareils et est conçu pour répondre aux exigences de production les plus élevées.
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