Occasion ASML XT 1700Gi #9299038 à vendre en France
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Vendu
ID: 9299038
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Immersion lithography system, 12"
CIM: Secs / GEM
Process: Immersion lithography
(2) SMIF Factory interfaces
FOUP Loader handler system
CYMER XLA360 System
TEL Lithius interface
24 Character BC Reader
Water cooling for EL cabinet
Contrast controller
Universal prealignment
Dosemapper
2006 vintage.
ASML XT 1700Gi est un pas de plaquette haut de gamme, conçu pour un tissage intrawafer précis. Il dispose d'une colonne de projection de deux lentilles et d'un module de travail d'éclairage sur mesure, délivrant une ouverture numérique (NA) de 0,75 et une taille de champ allant jusqu'à 1250 x 1750mm. Il est conçu pour être utilisé avec des expositions allant de 6 à 220 mm d'épaisseur, lui donnant une large gamme de traitement. Le système d'imagerie du stepper utilise une lithographie de projection avancée, projetant une image de motif vers le bas sur un substrat. Il dispose également d'une gamme d'énergie de 6-23mJ/cm2, ce qui le rend adapté à la plupart des nouveaux matériaux de fixation. En outre, il est équipé d'une plaque de correction de polarisation semi-isotrope 3D, lui permettant de fournir précision et répétabilité aux expositions ultra-violettes (UV). La machine est contrôlée par une interface graphique (interface graphique) conviviale et très intuitive. L'interface graphique est capable de contrôler des séquences complexes d'opérations, et s'intègre avec d'autres modules pour la génération de motifs, ainsi que le suivi des diagnostics. Il est également équipé d'une option de reconnaissance de motifs à grande vitesse, lui permettant de retracer et de corriger les erreurs éventuelles. Le stepper dispose également d'un étage de plaquette haute sortie, capable d'atteindre des vitesses allant jusqu'à 200mm/s. Le stepper est également disponible dans différentes configurations, ce qui permet de le personnaliser en fonction de la taille et des besoins de l'application. Il est équipé d'un système de contrôle environnemental, qui surveille et maintient la propreté de l'air à l'intérieur de l'étage. Ces capacités de surveillance lui permettent de maintenir des niveaux de contamination bas, permettant à la machine de fonctionner en toute sécurité et efficacement. XT 1700Gi est un pas de plaquette avancé, capable de produire des motifs intra-plaquettes précis avec une large gamme d'exposition. Son module d'éclairage polyvalent et sa plaque de correction de polarisation semi-isotrope 3D garantissent précision et répétabilité. La vitesse réglable, combinée à l'interface graphique conviviale et au système de contrôle environnemental font de la machine un choix fiable et efficace pour toute tâche de fixation de plaquettes.
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