Occasion ASML XT 760F #9243126 à vendre en France
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Vendu
ID: 9243126
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
DUV Scanner, 12"
Does not include CYMER laser
2006 vintage.
ASML XT 760F est un pas de tranche qui coordonne les fonctions optiques, mécaniques et de calcul aux fins de lithographie dans la production de semi-conducteurs. Il est capable d'augmenter le débit des plaquettes multi-projets jusqu'à quatre fois plus vite que son prédécesseur et est équipé d'un mandrin à vide 2K et entièrement AUTO DCG/DCP. ASML XT:760F est livré avec un choix d'un système d'ouverture numérique 5X/6X haute pour la lithographie i-line ou ArF. Il est équipé d'un réseau de neurones à double champ avec réticule de focalisation améliorée et tuner d'objectif. Le réseau de neurones à double champ a la capacité de détecter des surfaces courbes contournées. Un réticule FXLTM adapté au champ assure des motifs de pas non uniformes sur toute la surface de la plaquette. XT 760 F est conçu avec un balayage de 11 degrés pour créer une distorsion extrêmement faible et un placement super précis des champs optiques sur la plaquette. Il dispose d'un système de réglage rapide (FTS) pour l'échange rapide des réticules et d'une taille de champ optique maximale de 30 µm pour les fonctionnalités avancées. De plus, XT 760F est équipé d'un large éventail de capacités, y compris une faible défectivité grâce à la prédiction de la dose de défaut, des coutures 4D pour une uniformité accrue et un datalogging avancé au niveau des plaquettes. L'ASML XT 760 F offre une meilleure qualité d'image et de superposition par rapport aux paliers plus anciens. Ceci est grâce à ses algorithmes améliorés de correction de motifs et d'auto-exposition avec une meilleure répétabilité sur les champs d'exposition. L'étape de la plaquette est gérée à l'aide d'une interface utilisateur graphique basée sur Windows et d'un logiciel piloté par menu. XT:760F peut être personnalisé pour toute application en ajoutant des options supplémentaires, y compris l'imagerie de contact, chrome ou les configurations de nettoyant/booster de balayage. Le wafer stepper dispose également d'un module de sécurité intégré pour détecter rapidement les conditions anormales de photomasque ou imprimé. ASML XT 760F poursuit la tradition ASML des marchands de plaquettes de qualité à un prix abordable. Il est doté de composants de pointe et d'un design avec une qualité et des performances améliorées. Avec ASML XT:760F, les clients peuvent s'attendre à une prévention maximale des défauts et à des rendements plus élevés.
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