Occasion C SUN Stepper #293669782 à vendre en France

Fabricant
C SUN
Modèle
Stepper
ID: 293669782
EBARA AA10 Pump missing.
C SUN Stepper est un Stepper avancé utilisé pour la modélisation de circuits intégrés utilisant la photolithographie. C SUN Stepper est conçu pour produire une exposition précise et haute résolution des conceptions de circuits intégrés à la lumière. Il se compose de composants mécaniques, d'imagerie et d'éclairage qui permettent des tailles de caractéristiques précises et un alignement répétable. Mécaniquement, Stepper dispose d'un équipement d'alignement à quatre quadrants composé d'un étage réticulaire qui tient le réticule (ou masque), et d'un étage plaqueur qui tient la plaquette ou le substrat. Le système supporte la semi-automatisation et l'automatisation et peut accueillir des plaquettes jusqu'à 8 "de taille. De plus, C SUN Stepper prend en charge l'alignement et la couture des champs. Stepper propose une unité d'imagerie qui utilise une machine optique à forte ouverture en combinaison avec des moteurs de haute précision pour les opérations de décalage d'image et de grossissement. Il dispose d'une ouverture numérique variable (NA) de 0,15 à 0,55, avec une résolution maximale de 0,4 microns, et d'une lentille haute ouverture numérique (HNA) qui supporte des images de 0,25 microns. L'outil comprend également un mécanisme de focalisation du réticule réglable. C SUN Stepper dispose également d'un atout d'éclairage variable qui supporte le contrôle de focalisation multi-zone et les uniformités grand-champ avec une profondeur de focalisation constante. Il utilise des volets à ouverture variable et à atténuation variable pour peaufiner le profil d'éclairage pour une meilleure performance d'exposition. Stepper offre également une fonction d'auto-alignement qui garantit un haut niveau de répétabilité, même dans de longues séries de production. Globalement, C SUN Stepper est conçu pour modeler avec précision et fiabilité les circuits intégrés. Sa combinaison de composants d'imagerie, d'éclairage et d'alignement en fait un choix fiable pour la fabrication de circuits intégrés de qualité de production.
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