Occasion CANNON No210 #9284908 à vendre en France
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CANNON No210 wafer stepper est un outil de lithographie semi-conductrice de pointe utilisé pour la lithographie de haute précision des circuits intégrés. Le masque de type scanner est équipé de l'outil, permet un alignement entièrement automatisé et fiable des motifs sur les substrats et les masques photo, permettant un traitement rapide et précis de la photolithographie. Les capacités de scanner de l'appareil fournissent une résolution jusqu'à 1.2nm, et une surface de tir de 42x42mm (dans un plan X-Y vertical). De plus, les utilisateurs peuvent monter jusqu'à 6 têtes d'exposition pour des applications multicouches et configurer simultanément divers éléments opto-mécaniques de la caméra. Le CANON No210 a une capacité de balayage micro-étage qui peut être exploité dans plusieurs configurations. Le balayage monoplan permet une couverture complète de chaque champ d'image en même temps, tandis que le balayage multi-champs permet de séparer l'exposition au champ en plusieurs parties et permet des expositions plus élevées dans chaque section, améliorant ainsi la précision de l'image et des fonctionnalités. Le wafer stepper est également équipé d'un ensemble de fonctionnalités pour le fonctionnement automatisé. Le contrôle automatisé de l'exposition ajuste en permanence les paramètres d'exposition pendant le processus d'exposition, tandis que le réglage automatisé de la focalisation maintient une focalisation optimale dans les hauteurs et les largeurs sur l'ensemble du champ de la plaquette. Afin d'assurer la précision et la stabilité tout au long du processus d'exposition, l'appareil offre également un contrôle automatique de l'éclairage et un étalonnage des règles de conception (DRV). En résumé, le CANON CANNON No210 est un pas de plaquette sophistiqué et complet qui permet une exposition rapide et précise des circuits intégrés. La combinaison de ses capacités de scanner et de micro-étages permet une large gamme d'expositions et de résolutions, tandis que ses fonctionnalités automatisées fournissent un processus d'exposition fiable et cohérent.
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