Occasion CANNON No36-3 #9284913 à vendre en France

CANNON No36-3 est un wafer-stepper automatisé conçu pour le traitement automatisé de l'exposition dans les applications de production de semi-conducteurs. Il est capable de modeler l'exposition à l'aide de la lumière XTHC à fort contraste provenant de sa source mobile à axe x. Le pas de plaquette dispose d'une suspension pneumatique et d'un équipement d'imagerie haute résolution, ce qui améliore le débit avec une précision de pas et une répétabilité de motif très définis. La source lumineuse XTHC lui permet de positionner avec précision la plaquette pour un traitement optimal. La capacité entièrement automatisée avec centrage dynamique permet une plus grande uniformité et la répétabilité de l'imagerie plein champ. En plus de ses variations d'intensité lumineuse, il dispose également d'un réseau de capteurs d'image haute résolution et d'une alimentation lumineuse Xthc. La précision de ce système est une caractéristique de ses performances, offrant un pas de taille haute résolution. Le pas de plaquette est construit avec une ossature en acier inoxydable et comprend quatre bras d'amortissement à rigidité réglable qui maintiennent la plaquette en suspension uniforme et empêche les vibrations. Le rail d'entraînement est dans la direction de déplacement de l'axe Y et un contrepoids sur l'axe Z permet un contrôle précis de l'état d'alignement de Wafer. No36-3 utilise un profil de mouvement croisé avec des vibromètres dans les trois axes pour l'acquisition d'image haute résolution dans des conditions de chargement différentes. L'analyse d'image se fait selon l'axe des X, avec jusqu'à 16 sections de pic par ligne. La méthode de scatterométrie est utilisée pour mesurer les directions des lignes de balayage et l'angle d'inclinaison du motif de la plaquette. Ces données sont ensuite utilisées lors du traitement d'image pour générer un motif de ligne floue reprojecté pour un enregistrement précis. CANNON No36-3 est équipé d'un codeur 20 bits pour contrôler le positionnement de la plaquette et les lecteurs X-Y synchronisés pour un débit optimal. Le stepper dispose également d'un code de programme autogéré (RCP) et d'un contrôleur de paramètres piloté par menu pour un fonctionnement efficace. L'unité de contrôle de procédé autonome offre une variété de temps d'exposition en fonction de la recette du procédé et de la résolution d'exposition. La machine permet des expositions multiples et un fonctionnement spécialisé pour la commande des pales d'obturation. Avec ses fonctions d'auto-réglage et d'étalonnage, No36-3 assure une exposition précise qui peut être ajustée pour créer le motif désiré. L'outil a également une plage de tolérance de ± 10 μ m, ce qui le rend adapté à l'intégration de plaquettes à haute résolution. CANNON No36-3 est un marchepied automatisé avancé qui peut produire des motifs clairs et précis sur les substrats de wafer. Ses performances et ses caractéristiques de pointe le rendent idéal pour le traitement d'exposition de haute précision dans les applications de production de semi-conducteurs.