Occasion CANON 13 #9284912 à vendre en France

CANON 13 est un marchepied de précision fabriqué par CANON Inc. Il est conçu pour la photolithographie de haute précision dans les industries des semi-conducteurs, photoniques, MEMS et IC/MEMS/BIO. La machine est conçue pour des applications à haut débit, et est capable de produire des images de très haute qualité sur des substrats tels que le silicium, le quartz et le verre. La figure 13 présente une conception à double tête, avec une unité optique principale et une unité de commande séparée. L'unité optique principale contient un laser KrF Excimer doublé en fréquence pour un débit élevé sur des plaquettes minces. Il contient également deux objectifs de focalisation réglables, l'un pour la source lumineuse et l'autre pour la lentille de projection, permettant un contrôle précis de l'intensité lumineuse, de la taille du spot et du foyer. La lentille de projection est une lentille asphérique à trois groupes qui est conçue pour la lithographie haute performance sur plaquettes. L'unité optique principale contient également un étage d'exposition, qui comporte un moteur d'entraînement et des mécanismes de support de la plaquette. L'unité de commande de l'obturateur fournit la vitesse de l'obturateur pour le laser, permettant un contrôle précis du temps d'exposition. Il contient des mécanismes de bras d'obturation et une commande d'obturateur basée sur le temps pour un contrôle précis de l'exposition. Le temps d'exposition peut être ajusté de 0,2 à 5ms. CANON 13 contient également un autostage X-Y, qui permet le balayage des plaquettes sur toute la zone d'exposition. Il peut scanner jusqu'à 2000mm/s sur n'importe quelle direction. L'autostage X-Y est piloté par un moteur de rétroaction très précis. Il contient également un circuit de sortie de données de commande synchrone X-Y, permettant une synchronisation précise entre l'unité de commande de l'obturateur et l'autostage. La figure 13 comporte également un équipement d'alignement et de contrôle de focalisation très précis, qui garantit que l'image obtenue est précise et précise. Il dispose d'un système d'alignement automatique de haute précision, qui est capable d'aligner avec précision le laser avec le photomasque. L'unité de commande de focalisation est conçue pour s'assurer que la lentille de projection est correctement focalisée sur la plaquette. CANON 13 est une machine de lithographie avancée et de haute précision qui est conçue pour une précision et un débit maximum. Ses caractéristiques et ses contrôles lui permettent de produire des images extrêmement précises et de haute qualité. Sa capacité à balayer rapidement de grandes surfaces, tout en assurant un contrôle précis du temps d'exposition et de la précision, en fait le choix idéal pour ceux qui ont besoin de solutions lithographiques de haute qualité et fiables.