Occasion CANON 52 #9284911 à vendre en France

CANON 52 est un marchepied en plaquettes fabriqué par CANON Inc., utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs à des fins de lithographie. Cette machine a la capacité de projeter une image sur la plaquette à un grossissement allant de 5X à 75X, en utilisant une opération d'exposition qui combine les principes d'imagerie d'un équipement optique haute résolution et d'un générateur avancé de motifs semi-conducteurs. Le système est conçu avec une variété de caractéristiques intégrées pour assurer une grande précision dans le résultat du processus de lithographie. Il dispose d'une unité de mesure de position (PMS) qui intègre des informations sur le moteur, la position des étages, le sens de déplacement et les conditions d'alignement, afin d'obtenir une plus grande précision dans l'opération d'exposition. La machine comprend également un outil de compensation de la contorsion (CSC) qui exploite la conception de l'étage hydro-statique pour réduire les vibrations, permettant une imagerie à plus haute résolution. 52 dispose également d'une installation d'exposition qui peut traiter une gamme d'ouvertures numériques (AN) et de longueurs d'onde, afin de maximiser l'utilisation de la lumière. L'actif intègre également une technologie améliorée de capteur (SET) qui permet une gestion active de l'auto-alignement, contrôlant les conditions d'exposition en fonction des caractéristiques des plaquettes. Cela garantit une exposition précise à l'image tout au long de la production. Le modèle est équipé d'un équipement de focalisation automatique pour la haute précision et la focalisation rapide pour correspondre à une variété de hauteurs de plaquettes. Ce système de focalisation automatique est un Opto-Mechatronic Design offrant une compensation de turbulence en temps réel. L'unité dispose également d'un interféromètre Wavefront Sensor qui est utilisé pour mesurer et détecter tout changement dans la distorsion optique du front d'onde entre la plaquette et l'optique, permettant une opération d'exposition précise. CANON 52 est capable de manipuler une large gamme de tailles de plaquettes, allant de 1 pouce à 8 pouces et la machine a une capacité de 1000 plaquettes par heure. Le mode d'exposition prend en charge l'étape, la répétition et la numérisation de l'exposition, avec un outil entièrement automatisé de détection et de correction des erreurs, conçu pour prévenir les erreurs d'exposition. En plus de ces fonctionnalités, 52 offre également un haut niveau de compréhension des processus grâce à une optimisation et une analyse avancées des modèles. Cela permet aux fabricants d'optimiser les plaquettes et d'ajuster les paramètres d'exposition sans avoir à effectuer de multiples opérations d'exposition. Cette capacité d'optimisation du processus améliore l'efficacité, réduit les déchets et augmente les taux de rendement.