Occasion CANON ES5 #9227408 à vendre en France

CANON ES5
Fabricant
CANON
Modèle
ES5
ID: 9227408
Taille de la plaquette: 8"
DUV Scanner, 8".
CANON ES5 est un pas de plaquette de haute spécification utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Il est conçu pour rendre possible le traitement d'exposition à haute précision et à haut débit des plaquettes et est capable de réaliser un traitement d'exposition à balayage extrêmement précis pour les plaquettes de sous-microns. CANON ES-5 utilise un champ carré de 500 mm avec une précision spatiale de 0,047 microns (la précision totale de l'équipement est égale ou inférieure à 3,5 nm) et une précision d'exposition de 0,25 nm. Il est équipé d'un système de balayage unique qui permet d'améliorer la précision même lors du traitement de cartes de circuits imprimés de différentes formes. ES5 utilise une unité de manutention de plaquettes ultra-haute vitesse capable de traiter jusqu'à 48 plaquettes en une seule course sans fuite. Cela permet une exposition des plaquettes à grande vitesse et avec une grande précision. ES-5 dispose d'un étage automatique motorisé de type diffraction M12, qui assure un alignement et une répétabilité de haute précision en mode de balayage à grande vitesse. De plus, un mécanisme de focalisation automatique motorisé et un mode de recoupement complet sont utilisés pour assurer une exposition de haute qualité des plaquettes. Une machine de traitement d'image est également intégrée dans le stepper qui est utilisé pour corriger les images défectueuses et réduire les temps d'exposition globaux. En outre, CANON ES5 combine un étage réticulé haute précision et haute vitesse avec le substrat en verre feuilleté, ce qui en fait un choix approprié pour une large gamme de dispositifs à couches minces. Une autre caractéristique de cette machine est son outil de commande avancé, qui fournit un positionnement stable et précis. Le stepper intègre également un actif optique propriétaire avancé, qui utilise une combinaison de lentilles et de miroirs afin de réduire la distorsion optique et de minimiser les éruptions. Il en résulte des images de haute qualité avec une résolution d'image supérieure et un contraste élevé. Enfin, CANON ES-5 dispose également d'un modèle sous vide et de récipients intégrés pour petites plaquettes, permettant une installation et un chargement faciles. Le stepper offre également une gamme de fonctions de chargement et de déchargement automatiques, qui garantissent que la manutention des plaquettes est maintenue à un minimum absolu. Dans l'ensemble, ES5 est un pas incroyablement fiable et efficace conçu pour un traitement d'exposition SEMI-standard optimal et un positionnement précis des plaquettes. Il peut atteindre un alignement et une précision d'exposition de haute précision, tout en réduisant les temps d'exposition globaux. Cela permet aux fabricants de produire des produits de haute qualité et précis qui peuvent être utilisés dans une grande variété d'applications.
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